IYUKI美幸輝 緊湊型氣動直通真空閘SE-N40 行業用途
MIYUKI美幸輝 緊湊型氣動直通真空閘SE-N40 行業用途
SE-N40 屬于 SE 系列直通式氣動真空閥,采用 NW40(KF40)ISO-KF 快拆法蘭,單作用彈簧常閉驅動結構,通氣開啟、斷氣自動閉合。整機一體化圓柱結構,氣缸內置無側向凸起部件,軸向布局緊湊;直通式流道氣流阻力較小,開放通導能力 45L/s,適配中等流量真空支路通斷控制。閥門支持選配磁性感應開關,輸出閥位信號對接自動化控制系統;閥體在潔凈環境完成裝配調試,密封表現穩定,適配常壓至 1×10??Pa 中高真空工況,廣泛適配多個制造行業中小型真空管路隔斷工況。
半導體行業多用于中型真空腔體預抽管路、真空計采樣支管、等離子設備分子泵前級隔離。氣源中斷時,閥門依靠彈簧自動閉合,阻擋大氣倒灌進入真空腔體,降低真空規、晶圓樣品氧化污染風險。緊湊機身便于集成在自動化真空設備內部,適合多條管路密集排布場景。對比 SE-N25,SE-N40 通流能力更大,能夠縮短腔體抽真空耗時,適配容積更大的工藝腔體配套管路。
光學鍍膜行業適配中型蒸發鍍膜設備、UV 真空固化設備,用作樣品預處理腔體、蒸發源輔助抽氣管路通斷控制。設備檢修階段可以隔離局部管路,無需對整套系統泄壓,提升設備周轉效率;KF 快拆法蘭搭配卡箍連接,拆裝便捷,方便現場維護作業。
鋰電與真空檢測行業,配套氦質譜檢漏工裝、中型真空烘烤、真空脫泡設備主管路控制,穩定密封性能維持真空系統基礎真空水平??蒲信c高校實驗室常選用該型號搭建管式爐、真空材料測試平臺,用作樣品充氣支路、真空監測管路控制閥門,第三方真空工藝研發平臺也將其用于搭建中型實驗管路。
閥座采用均衡壓緊密封結構,標配 FKM 氟橡膠密封圈,可根據工藝氣體工況調整密封材質;閥門啟閉循環次數充足,長期重復運行工況下密封狀態保持穩定。安裝角度不受限制,支持水平、豎直多種布設方式。
相較于角式真空閥,直通布局不占用橫向空間,多臺閥門可緊密并排布置,節省設備內部安裝空間。同系列擁有 SE-N16、SE-N25、SE-N50 多款口徑規格,可按照管路尺寸、抽氣流量靈活選型。作為進口緊湊型真空切斷元件,SE-N40 結構精簡、安裝靈活,是鍍膜設備、真空檢測儀器、實驗室真空系統中等流量支路通斷常用真空閥門方案。
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