池田屋！MIYUKI 壓力控制閥 BAR-N63 

池田屋！MIYUKI 壓力控制閥 BAR-N63 

BAR-N63 是日本 MIYUKI（美幸輝）株式會(huì)社 BAR 系列中的一款自動(dòng)壓力控制蝶閥。該系列控制閥采用簡(jiǎn)單的蝶閥結(jié)構(gòu)，無(wú)金屬滑動(dòng)部件，可實(shí)現(xiàn)低顆粒物產(chǎn)生和極低噪音的開(kāi)關(guān)及控制動(dòng)作，適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空鍍膜裝置及各類真空工藝中的壓力控制場(chǎng)景。

結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

BAR-N63 采用 蝶閥結(jié)構(gòu)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)閥板控制流導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體壓力的精確調(diào)節(jié)。其無(wú)金屬滑動(dòng)部件的設(shè)計(jì)可有效降低顆粒物產(chǎn)生，適用于對(duì)潔凈度要求較高的真空工藝。閥門的開(kāi)閉及控制動(dòng)作噪音較低，且由于電機(jī)與閥體直連驅(qū)動(dòng)，可消除背隙，提高控制精度。該型號(hào)標(biāo)配 無(wú)制動(dòng)電機(jī)，在停電時(shí)閥門停止（無(wú)保持力）。

口徑與法蘭規(guī)格

該型號(hào)的公稱口徑為 63A（63mm），法蘭規(guī)格為 ISO 2861（JIS B 8365）NW/KF 法蘭。法蘭外徑為 φ87 mm，采用 NW/KF 快速法蘭連接方式，適用于真空管路的快速安裝與拆卸。需注意，NW/KF 法蘭規(guī)格最大適用于 40A（即 NW40），此處的 63A 對(duì)應(yīng) NW50 規(guī)格。

尺寸與質(zhì)量

BAR-N63 的本體尺寸為：總長(zhǎng)度（L）約 313 mm，法蘭間距（M）約 293.5 mm，本體高度（B）為 65 mm，法蘭厚度（G）為 56 mm。閥體寬度（S）為 120 mm，安裝孔距（T）為 90 mm，U 型安裝槽（U）為 60 mm。整機(jī)質(zhì)量約 5.5 kg。

使用壓力與泄漏量

該閥門的適用壓力范圍為 10? Pa 至 10?? Pa，可覆蓋從大氣壓到高真空的較寬壓力范圍。內(nèi)部密封（閥板）泄漏量為 1×10?? Pa·m3/s 以下，外部密封（軸封）泄漏量為 1×10?1? Pa·m3/s 以下，可滿足真空系統(tǒng)對(duì)泄漏量的嚴(yán)格要求。

材質(zhì)與密封

與氣體接觸部分的材質(zhì)為 SUS304 不銹鋼，具有良好的耐腐蝕性和較低的放氣率。閥板密封件和軸密封件均采用 氟橡膠 O 型圈，具有良好的真空密封性能和耐熱性。本體耐熱溫度為 150°C，電機(jī)耐熱溫度為 40°C。

應(yīng)用場(chǎng)景

BAR-N63 適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備（如蝕刻、CVD、濺射等工藝）、真空鍍膜裝置、真空爐及各類需要精確控制真空壓力的科研與工業(yè)設(shè)備。其 NW/KF 法蘭連接方式便于快速安裝和拆卸，適合需要頻繁維護(hù)的真空系統(tǒng)。

同系列選型參考

BAR 系列提供 25A 至 250A 的多種口徑選擇，法蘭規(guī)格包括 JIS B 2290 保守法蘭（J）、ISO 1609 螺栓緊固法蘭（I）、ISO 2861 NW/KF 法蘭（N）及 ISO 3669 CF 法蘭（C）。型號(hào)后綴中的“B”代表帶制動(dòng)電機(jī)，無(wú)制動(dòng)電機(jī)為標(biāo)準(zhǔn)配置（無(wú)后綴）。用戶可根據(jù)真空系統(tǒng)的法蘭標(biāo)準(zhǔn)和管道口徑選擇合適的型號(hào)。如需停電保持功能，請(qǐng)選擇帶“B”后綴的型號(hào)（如 BAR-N63B）。選購(gòu)時(shí)需確認(rèn)法蘭規(guī)格和安裝空間是否匹配。該型號(hào)為標(biāo)準(zhǔn)無(wú)制動(dòng)電機(jī)規(guī)格，適合對(duì)停電保持無(wú)要求的常規(guī)應(yīng)用場(chǎng)景。NW/KF 法蘭連接方式便于快速拆裝，適用于需要頻繁維護(hù)的真空系統(tǒng)。