池田屋！MIYUKI 真空泄壓閥 VR-N16 

池田屋！MIYUKI 真空泄壓閥 VR-N16 

VR-N16 是日本 MIYUKI（三幸）株式會社推出的一款帶通風功能的真空泄壓閥。該產品在排氣壓力超過大氣壓時自動釋放壓力以防止腔室壓力過高，同時具備通氣功能，適用于半導體制造設備、真空鍍膜裝置及各類真空工藝中的過壓保護與氣體導入控制場景。

結構與特點

VR-N16 在 R-N16 泄壓閥的基礎上增加了 通風功能，除過壓保護外，還可通過壓縮空氣控制實現氣動通風操作。開啟壓力可通過 旋轉旋鈕 進行調節，調節范圍為 0.115 至 0.170 MPa（絕對壓力）。泄壓口（排氣口）規格為 Rc1/8，通風氣體入口規格為 Rc1/8。氣缸為 單動式（常閉型），壓縮空氣供應口規格為 M5，所需氣壓為 0.4 至 0.6 MPaG。

法蘭規格與連接方式

該型號的法蘭規格為 NW16（ISO 2861），采用 NW/KF 快速法蘭連接方式，可通過一觸式夾具進行快速安裝和拆卸，適用于真空管路的便捷連接。

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