池田屋！KOFLOC 質量流量控制器 ST-500 PI 

• 池田屋！KOFLOC 質量流量控制器 ST-500 PI 

• ST-500 是日本 KOFLOC（科賦樂）株式會社推出的一款 PI（Pressure Insensitive，壓力不敏感）質量流量控制器。該產品通過在流量傳感器前端搭載壓力傳感器，實時捕捉壓力變動并修正閥門開度，實現不受供氣壓力波動影響的穩定流量控制，適用于半導體制造設備等對穩定性和準確性有要求的氣體供給工藝。

• 產品特點與設計

• ST-500 具備以下特點：

• PI 功能（壓力不敏感）：搭載壓力傳感器，實時捕捉壓力變動及變動前的變化，修正閥門開度，實現針對壓力變化的穩定流量控制

• 全金屬密封結構：隔膜式全金屬密封，經過 EP 處理及氧化覆膜處理，可對應腐蝕性流體

• 高精度測量：使用 S.P.（設定點）精度，實現高精度計量

• 快速響應：全流量控制范圍響應性 1 秒以內

• 通信接口：支持 DeviceNet、EtherCAT 通信

• 接頭：W 型密封圈接頭

• 流量規格與精度

• ST-500 的流量量程為 100SCCM 至 10SLM（N? 換算），另有 30SLM 規格可供選擇。控制范圍為滿量程的 2% 至 100%。精度為 ±1% S.P.（10–100% F.S.），±0.1% F.S.（2–10% F.S.），重現性為 ±0.2% F.S.。響應速度在 1 秒以內。PI 功能規格為流量 SV 5–100% F.S. 范圍內對 ±3% PSI 的供給壓力變動，過沖量 ±2% F.S.。

• 工作壓差與耐壓

• 動作壓差：100SCCM 至 10SLM 規格為 50–300kPa；30SLM 規格為 200–300kPa

• 入口最大壓力：300kPa(G)

• 耐壓：1MPa(G)

• 外部泄漏率：1×10?11 Pa·m3/sec 以下

CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等