IKC 入江工研 VF3080法蘭真空柔性軟管產品特點

1. 兩端 JIS 標準真空法蘭，配置旋轉法蘭，現場對位安裝便捷，適配日系設備標準接口。

2. VF 標準款滿足常規靜態補償；VFP 加厚款，耐受反復彎折，疲勞壽命更高。

3. 螺旋波紋柔性結構，可適度彎曲，吸收設備安裝偏差，隔絕泵體振動向腔體傳遞。

4. 不銹鋼材質，放氣率低，支持 250℃整體烘烤除氣，滿足中真空使用需求。

5. 多檔標準供貨長度，支持特殊長度定制，適配真空泵與腔體之間長距離柔性連接。

IKC 入江工研 VF3080法蘭真空柔性軟管應用領域

日系半導體工藝設備、真空鍍膜設備、干式真空泵排氣管路、科研真空腔體、各類采用 JIS 真空法蘭標準的中真空設備柔性配管。

使用注意

1. 用于靜態彎曲、小位移補償，不適合高頻往復伸縮工況。

2. 嚴禁過度彎折、扭轉變形，避免波紋部位損傷造成泄漏。

3. JIS 法蘭裝配需配套密封墊片，螺栓對角均勻鎖緊，保障密封性能。

4. 僅限真空負壓工況，不可作為壓力管道使用。

壓力條件	（內部）真空 （外部）大氣壓力
溫度條件	室溫（烘焙過程中最高溫度250°C）
長度	500、1000、1500、2000毫米
管材	不銹鋼
法蘭材料	不銹鋼
泄漏	1× 10?? Pa  ·m3 / s 或更低