珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司
珀金埃爾默半導體行業氯硅烷分析應用文集
檢測樣品：氯硅烷
檢測項目：雜質 組分 含量
方案概述：高純He中微量H2、O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質的測定;高純H2中微量O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質的測定;高純Ar中微量H2、N2、CH4 、CO、 CO2雜質的測定;高純N2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質的測定;高純HCl中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質的測定......
目 錄
高純He中微量H2、O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質的測定
高純H2中微量O2、Ar、N2、CH4 、CO、 CO2雜質的測定
高純Ar中微量H2、N2、CH4 、CO、 CO2雜質的測定
高純N2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質的測定
高純HCl中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質的測定
高純Cl2中微量H2、O2、Ar、CH4 、CO、 CO2雜質的測定
工業用硅烷氣體中微量二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅雜質的測定
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