百級潔凈烘箱

BXDH-180F

用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一．主要技術指標

1.1、溫度范圍： 室溫＋30℃～200℃；升溫速率：3-6℃/min

1.2、溫度波動度：±0.5℃；

1.3、溫度均勻度：100℃±2℃、200 ℃±4℃、250℃±5℃，（空載恒溫20min后檢測）；

1.4、工作室尺寸（單腔）：600（寬）*500（深）*600（高）mm；

1.5 、采用日本"富士"溫度控制器，控制器液晶顯示及設定、PID 自動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS；

1.6、潔凈度（class）：100

1.7、功率：12.0KW

1.8、電源：380V/50Hz

二、 氣流控制方式：

百級潔凈烘箱

BXDH-180F

2.1、強制循環(huán)通風，控制系統(tǒng)根據(jù)設定之溫度點通過PID自動運算輸出的結果去控制加熱器的輸出量，最終達到平衡

2.2、氣流循環(huán)裝置：內置空調間、循環(huán)風道及通風電機；

2.3、加熱方式：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器。

2.4、隔板要求：每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成，隔板四邊與箱體緊密接觸。

三、箱體結構

3.1、箱體外壁材料：外箱采用優(yōu)質冷軋板噴塑，耐腐蝕，美觀大方；

3.2、箱體內壁材料：采用優(yōu)質不銹鋼板全周氬弧焊，并經堿性蘇打水清潔，有效防止機臺本身灰塵的產生；

3.3、保溫材料：采用特細超白玻璃纖維120K級高密度保溫棉填充，有效地防止了熱能浪費。