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多欽儀表（上海）有限公司
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產品簡介
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
產品介紹
微小MEMS熱式氣體質量流量計｜HJAWM?YT 系列詳情頁 多欽儀表（上海）有限公司選型推薦
專為微小流量、精密測控場景打造，MEMS 芯片直測質量流量，無需溫壓補償，小口徑即裝即用。
一、核心亮點｜您的專屬需要
? MEMS 微傳感：高精度、高靈敏、零點穩定
? 無需溫壓補償：直接測質量流量，誤差更低
? 超寬量程比 1:100：微流量不漏測，大流量不超程
? 快至 50ms 響應：瞬態波動實時捕捉
? LCD 雙顯：瞬時流量 + 累計流量一目了然
? 多信號輸出：4?20mA / 0?5V / 0?10V / RS485(Modbus)
? 標準螺紋接口：PT1/2、G1/4，安裝零門檻
? 小體積適配：DN8/DN15 管路，空間緊湊也能用
二、產品概述
微小MEMS熱式氣體質量流量計，采用熱擴散原理 + MEMS 流量芯片，面向小流量、清潔氣體的精密測量與過程控制。獨特封裝兼容多管徑，免溫壓補償、低功耗、易安裝，全面替代傳統容積式、差壓式流量計，廣泛用于半導體、醫療、實驗室、電子制程等精密場景。
三、技術參數｜計量穩定
| 參數項 | 規格 |
|---|---|
| 工作電源 | DC24V/2.5W |
| 測量精度 | ±1.0%FS |
| 量程范圍 | 0.3NmL/min ~ 1000NL/min |
| 量程比 | 1:100 |
| 響應時間 | 50ms |
| 介質溫度 | -10~55℃ |
| 工作壓力 | ≤1.5MPa（可定制 3MPa） |
| 輸出信號 | 4?20mA / 1~5V / 0?5V / 0?10V |
| 通訊接口 | RS485（Modbus RTU） |
| 機械接口 | PT1/2、G1/4 內螺紋（可定制） |
| 適用管徑 | DN8、DN15 |
| 防護等級 | IP40 |
| 顯示 | LCD 瞬時 + 累計流量 |
| 預熱時間 | 3?4 分鐘 |
| 標況溫度 | 0℃/20℃/25℃可調，默認 25℃ |
| 適用氣體 | Air、N?、O?、CH?、Ar、CO?、He、H?、C?H?（其他可定制） |
四、核心優勢｜為什么選我們
1. 測量更準更穩
MEMS 芯片，抗干擾、重復性好
零點長期穩定，免頻繁校準
直接質量流量，不受溫壓波動影響
2. 使用更省心
標準螺紋 + 轉接接頭，水平 / 垂直均可裝
控制閥建議裝下游，保留前后直管段更穩定
大屏 LCD，讀數直觀，累積 / 瞬時同屏看
3. 接入更靈活
模擬量 + 數字量雙輸出，PLC / 觸摸屏 / 上位機全兼容
可擴展 PNP 報警輸出，上下限超限提醒
Modbus 標準協議，多臺組網更方便
4. 場景更適配
微流量起步0.3NmL/min，泄漏 / 微量供氣精準測
小口徑 DN8/DN15，實驗室 / 設備集成
多種氣體標定，一機多用，降低成本
六、應用場景｜全覆蓋
半導體：制程供氣、尾氣監測、腔體吹掃
實驗室：氣相色譜、微反應、氣體發生裝置
電子汽車：鋰電池注液、檢漏、微量載氣
工業制氣：氮氣 / 氧氣 / 氬氣小流量配比與監控
航空航天：精密氣路、泄漏檢測、環境模擬
七、安裝須知｜穩定可靠
安裝方式：水平 / 垂直安裝均可
閥門布局：控制閥、切斷閥裝在流量計下游
直管段：保留足夠前后直管段，保證流場穩定
轉接可選：卡套接頭、快插接頭、寶塔接頭
嚴禁超量程使用，避免損壞 MEMS 芯片
八、質保與服務
2 周內：質量問題免費更換
1 年內：正常使用故障免費維修
不在保修：違規安裝 / 接線、自行拆機、人為損壞、超期老化、不可抗力
九、選型指南｜簡單 3 步
確定流量范圍：0.3NmL/min~1000NL/min
確定管路口徑：DN8 / DN25
確定輸出方式：模擬量 / RS485/PNP
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