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多欽儀表（上海）有限公司
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產品簡介
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
產品介紹
微小氣體流量控制器（MFC） 多欽儀表（上海）有限公司選型推薦
專為精密氣體配比、微量流量控制場景打造，集流量測量 + 閉環控制 + 信號反饋于一體，實現高精度、高穩定性的微小氣體流量管理。
一、核心亮點｜一眼看懂價值
? 高精度閉環控制：±1.0% FS 控制精度，流量穩定不漂移? 微小流量適配：支持從 sccm 級到 slm 級的超小量程，適配實驗室與精密制程? MEMS 傳感技術：響應快、零點穩、重復性好，免頻繁校準? 全數字信號交互：RS485/Modbus 協議，支持上位機組網控制? 自帶顯示與按鍵：本地可設參數、實時查看流量與設定值? 雙向信號兼容：模擬量（4-20mA/0-5V）+ 數字量雙路輸出，PLC 直連? 緊湊一體化設計：閥體 + 控制模塊集成，安裝空間小，適配性強? 多氣體兼容：支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、甲烷等多種介質，可定制標定
二、產品概述
微小氣體流量控制器（MFC）是一款集流量測量、PID 閉環控制、信號反饋于一體的智能設備，采用熱式 MEMS 傳感芯片與精密電磁閥，專為微小流量、清潔氣體的精密控制場景設計。設備無需溫壓補償，即可實現質量流量的直接測量與穩定調節，廣泛應用于半導體制程、實驗室氣相反應、醫療設備、精密儀器校準等場景，是替代傳統浮子流量計 + 手動閥的升級方案。
三、技術參數｜詳細明確
| 參數項 | 規格說明 |
|---|---|
| 控制精度 | ±1.0%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 響應時間 | ≤100ms |
| 量程范圍 | 0.01sccm ~ 20slm（可定制微小 / 大流量量程） |
| 量程比 | 1:100（部分型號可達 1:200） |
| 介質溫度 | 0~50℃（可擴展 - 10~80℃） |
| 工作壓力 | 0.1~0.5MPa（可定制高壓版） |
| 工作電源 | DC24V ±10% |
| 功耗 | ≤5W |
| 控制方式 | PID 閉環自動控制 |
| 設定信號 | 0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 數字信號 |
| 反饋信號 | 0-5V / 4-20mA / RS485 Modbus RTU |
| 通訊協議 | Modbus RTU（標準），支持自定義協議 |
| 機械接口 | 1/4"、1/8" 卡套 / 內螺紋（可定制） |
| 防護等級 | IP40（可選 IP65） |
| 適用氣體 | N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清潔氣體（腐蝕性氣體可定制） |
| 預熱時間 | 3~5 分鐘 |
四、核心優勢｜為什么選我們
1. 控制更穩更準
內置PID 智能調節算法，流量波動自動修正，穩定度更高
MEMS 傳感芯片，抗干擾能力強，零點長期穩定，免頻繁校準
直接測量質量流量，不受介質溫度、壓力波動影響，控制誤差更小
2. 操作與集成更靈活
自帶 LCD 顯示與按鍵，本地可設置目標流量、單位、通訊參數，無需上位機即可調試
模擬量 + 數字量雙信號交互，兼容 PLC、DCS、上位機系統，支持單臺控制與多臺組網
支持多氣體切換與標況單位（sccm、slm、NmL/min）自定義，適配不同場景需求
3. 適配更多復雜場景
超小量程覆蓋，解決實驗室微反應、半導體微量供氣等傳統設備難以控制的場景
閥體與控制模塊一體化設計，體積小巧，適配設備集成、機柜安裝等緊湊空間
支持定制防腐蝕閥體、防爆外殼、高壓接口，滿足特殊工況需求
4. 長期使用更省心
關鍵部件采用精密電磁閥與抗老化密封材料，使用壽命長，維護成本低
支持故障自診斷與報警反饋，異常流量、通訊故障可快速識別
全系列產品出廠前經過嚴格標定與老化測試，性能穩定可靠
五、功能與操作｜快速上手
1. 面板按鍵與顯示
顯示界面：實時顯示當前流量值、設定值、單位、工作狀態
按鍵功能：
設定鍵：修改目標流量值
菜單鍵：進入參數設置界面（量程、單位、通訊、PID 參數）
確認 / 退出鍵：保存設置或返回主界面
2. 通訊與控制配置
默認通訊參數：9600bps，8 數據位，無校驗，1 停止位（Modbus RTU）
可配置項：設備地址、波特率、校驗方式、流量單位、標況溫度、報警閾值
控制模式：
本地控制：通過面板按鍵直接設定目標流量
遠程控制：通過模擬量信號或 RS485 數字信號設定目標流量
3. 安裝與接線說明
安裝方式：水平 / 垂直安裝均可，建議介質流向與閥體標注方向一致
接線接口：DB9 / 航空插頭可選，支持電源、信號、通訊一體化接線
安裝要求：前后保留直管段，避免閥門、彎頭直接靠近閥體，影響流場穩定
六、典型應用場景｜全覆蓋
半導體與電子制程：晶圓制程供氣、腔體吹掃、微量載氣控制
實驗室科研：氣相色譜儀、微反應裝置、氣體配比實驗、催化劑測試
工業自動化：氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣
新能源行業：鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試
航空航天：精密氣路流量校準、泄漏檢測、環境模擬試驗
七、選型指南｜3 步精準匹配
確定氣體介質與標況單位（sccm/slm/NmL/min）
確定流量控制范圍（如 0~100sccm、0~5slm）
確定控制與信號方式（本地 / 遠程控制、模擬量 / 數字量輸出）
八、質保與售后
出廠前全流程標定與老化測試，確保性能穩定
質保期：1 年質保，非人為損壞故障免費維修 / 更換
提供技術支持：選型咨詢、接線指導、參數調試、現場技術支持
可定制服務：量程、氣體、接口、通訊協議、特殊工況適配
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