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多欽儀表（上海）有限公司
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微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計
| 參考價 | ￥2200-￥4500 | /件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 型號
- DUOQIN/多欽 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 上海市 所在地
訪問次數(shù)：72更新時間：2026-05-21 10:15:34
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
產(chǎn)品介紹
微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計 多欽儀表（上海）有限公司選型推薦
專為氣體精密測控與定量控制場景打造，集成熱式質(zhì)量流量測量 + 電動調(diào)節(jié)閥閉環(huán)控制，實現(xiàn)從流量監(jiān)測到精準調(diào)節(jié)的一體化解決方案。
一、核心亮點｜一眼看懂價值
? 測量 + 控制一體化：自帶電動調(diào)節(jié)閥，實現(xiàn)流量閉環(huán)控制，無需額外閥門? 微小流量精準適配：MEMS 傳感芯片，支持 sccm~slm 級超小量程，無溫漂、無壓漂? 自帶本地顯示與按鍵：瞬時 / 累計流量 + 設(shè)定值同屏顯示，現(xiàn)場直接調(diào)試? 全信號兼容：4-20mA/0-5V 模擬信號 + RS485 Modbus 數(shù)字通訊，PLC 直連? PID 智能閉環(huán)算法：流量波動自動修正，控制精度可達 ±1.0% FS? 標準螺紋接口：適配 DN8/DN15 管路，即裝即用，無需復雜改造? 防爆 / 防腐可選：支持襯四氟、防爆外殼，適配腐蝕性氣體與危險工況? 多氣體標定：支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、甲烷等多種介質(zhì)，可定制標定
二、產(chǎn)品概述
微小流量控制型熱式氣體質(zhì)量流量計，是一款集熱式質(zhì)量流量測量、PID 閉環(huán)控制、電動調(diào)節(jié)閥執(zhí)行于一體的智能測控設(shè)備。采用熱擴散原理 + MEMS 流量傳感芯片，直接測量氣體質(zhì)量流量，無需溫壓補償；配套高精度電動調(diào)節(jié)閥，實現(xiàn)流量的自動調(diào)節(jié)與穩(wěn)定控制。
設(shè)備廣泛應(yīng)用于實驗室氣相配比、半導體制程供氣、醫(yī)療設(shè)備流量控制、工業(yè)氣體混合等場景，是傳統(tǒng) “流量計 + 手動閥 / 比例閥" 方案的理想升級替代。
三、技術(shù)參數(shù)｜詳細明確
| 參數(shù)項 | 規(guī)格說明 |
|---|---|
| 測量原理 | 熱式質(zhì)量流量（MEMS 傳感） |
| 控制方式 | PID 閉環(huán)控制 + 電動調(diào)節(jié)閥 |
| 測量精度 | ±1.0%FS |
| 控制精度 | ±1.5%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 量程范圍 | 0.01sccm ~ 1000NL/min（可定制微小 / 大量程） |
| 量程比 | 1:100（部分型號可達 1:200） |
| 介質(zhì)溫度 | -10~60℃（可擴展 - 20~120℃） |
| 工作壓力 | ≤1.6MPa（可定制高壓版） |
| 工作電源 | DC24V ±10% |
| 功耗 | ≤8W |
| 設(shè)定信號 | 0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 數(shù)字信號 |
| 反饋信號 | 4-20mA / RS485 Modbus RTU |
| 通訊協(xié)議 | Modbus RTU（標準），支持自定義協(xié)議 |
| 機械接口 | G1/4、G1/2、NPT1/4、NPT1/2（可定制） |
| 閥體材質(zhì) | 不銹鋼 304/316L（可選襯四氟防腐） |
| 防護等級 | IP65（可選防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga） |
| 適用氣體 | 空氣、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清潔氣體，腐蝕性氣體可定制 |
| 預(yù)熱時間 | 3~5 分鐘 |
四、核心優(yōu)勢｜為什么選我們
1. 測量 + 控制一體化，省心高效
流量計與調(diào)節(jié)閥集成設(shè)計，省去單獨選型、安裝閥門的步驟，減少泄漏點
PID 閉環(huán)算法自動修正流量波動，即使上游壓力波動，出口流量依然穩(wěn)定
本地顯示 + 按鍵調(diào)試，無需上位機即可設(shè)置目標流量、參數(shù)校準，現(xiàn)場調(diào)試效率更高
2. 微小流量測量更精準穩(wěn)定
MEMS 微傳感芯片，響應(yīng)速度快、零點長期穩(wěn)定，免頻繁校準
直接測量質(zhì)量流量，不受介質(zhì)溫度、壓力波動影響，測量誤差更小
超小量程覆蓋，解決傳統(tǒng)設(shè)備難以穩(wěn)定測量的 sccm 級微量供氣場景
3. 適配更多復雜工況
不銹鋼閥體 + 可選襯四氟防腐，適配弱腐蝕性氣體（如氨氣、硫化氫）
可選防爆外殼與本安設(shè)計，滿足化工、石化等危險區(qū)域使用要求
支持高壓定制，適配高壓氣瓶供氣、高壓反應(yīng)釜吹掃等場景
4. 集成與維護更便捷
標準螺紋接口，適配實驗室、設(shè)備集成等多種安裝場景
支持多臺組網(wǎng)控制，通過 RS485 實現(xiàn)多通道氣體配比自動化
關(guān)鍵部件采用進口電動調(diào)節(jié)閥芯，壽命長、維護成本低，支持故障自診斷
五、功能與操作｜快速上手
1. 面板按鍵與顯示
顯示界面：主界面顯示瞬時流量、累計流量、目標設(shè)定值；參數(shù)界面顯示介質(zhì)、單位、通訊參數(shù)等
按鍵功能：
設(shè)定鍵：修改目標流量值、切換控制模式（本地 / 遠程）
菜單鍵：進入?yún)?shù)設(shè)置界面（量程、單位、PID 參數(shù)、通訊地址）
確認 / 退出鍵：保存設(shè)置或返回主界面
2. 通訊與控制配置
默認通訊參數(shù)：9600bps，8 數(shù)據(jù)位，無校驗，1 停止位（Modbus RTU）
可配置項：設(shè)備地址、波特率、校驗方式、流量單位（sccm/slm/NL/min）、標況溫度、報警閾值
控制模式：
本地控制：通過面板按鍵直接設(shè)定目標流量，調(diào)節(jié)閥自動調(diào)節(jié)
遠程控制：通過模擬量信號或 RS485 數(shù)字信號設(shè)定目標流量，實現(xiàn)上位機 / PLC 自動化控制
3. 安裝與接線說明
安裝方式：水平 / 垂直安裝均可，建議介質(zhì)流向與閥體標注方向一致
安裝要求：前后保留直管段（前≥5D、后≥3D），避免彎頭、閥門直接靠近閥體，影響流場穩(wěn)定
接線接口：航空插頭 / 端子排可選，支持電源、信號、通訊一體化接線，防松防脫落
六、典型應(yīng)用場景｜全覆蓋
實驗室科研：氣相色譜儀、微反應(yīng)裝置氣體配比、催化劑測試供氣控制
半導體制程：晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導體設(shè)備工藝供氣
工業(yè)自動化：氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣
新能源行業(yè)：鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試、氫能加注流量控制
化工行業(yè)：弱腐蝕性氣體微量控制、反應(yīng)釜吹掃、尾氣監(jiān)測
七、選型指南｜3 步準確匹配
確定氣體介質(zhì)與標況單位（sccm/slm/NL/min）
確定流量控制范圍（如 0~100sccm、0~5slm）與工作壓力 / 溫度
確定控制與信號方式（本地 / 遠程控制、模擬量 / 數(shù)字量輸出）及特殊工況需求（防腐 / 防爆）
八、質(zhì)保與售后
出廠前全流程標定與老化測試，確保性能穩(wěn)定可靠
質(zhì)保期：2 年質(zhì)保，非人為損壞故障免費維修 / 更換
提供全程技術(shù)支持：選型咨詢、接線指導、參數(shù)調(diào)試、現(xiàn)場技術(shù)支持
可定制服務(wù)：量程定制、氣體標定、接口定制、特殊工況適配（高壓 / 防爆 / 防腐）
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