DN8高精密氣體質量流量計  多欽儀表（上海）有限公司

專為微小氣體流量的精密測量與閉環控制場景打造，集熱式質量流量傳感與高精度電磁閥控制于一體，實現高穩定性、高重復性的氣體流量管理，是實驗室、半導體制程、醫療設備的理想選擇。

一、核心亮點｜一眼看懂價值

二、產品概述

DN8高精密氣體質量流量計（閥控）是一款專為DN8 小口徑管路微小氣體流量設計的一體化測控設備。采用熱式 MEMS 傳感技術直接測量氣體質量流量，無需溫壓補償；配套高精度電磁閥與智能 PID 控制算法，實現流量的閉環調節，確保輸出流量穩定在設定值。

設備廣泛應用于實驗室氣相配比、半導體腔體吹掃、醫療設備氣體控制、工業微量供氣等場景，可替代傳統 “流量計 + 手動閥" 的組合方案，大幅提升流量控制精度與自動化水平。

三、技術參數｜詳細明確

四、核心優勢｜為什么選我們

1. 高精度、高穩定性的微小流量控制

• DN8 專用流道設計，優化流場分布，避免小口徑管路常見的流場畸變問題

• MEMS 傳感芯片，響應速度快，零點長期穩定，免頻繁校準

• 內置智能 PID 算法，自動修正上游壓力波動帶來的流量偏差，控制精度可達 ±1.0% FS

2. 閥控一體化，集成度更高

• 流量計與電磁閥集成設計，減少管路連接點，降低泄漏風險

• 無需額外配置調節閥，一套設備即可完成 “測量 + 控制 + 反饋" 全流程

• 體積小巧，適配設備集成、機柜安裝等緊湊空間

3. 操作與調試更便捷

• 自帶 LCD 顯示與按鍵，本地可查看瞬時 / 累計流量、設定目標值、配置通訊參數

• 支持本地 / 遠程雙控制模式，現場調試與自動化控制靈活切換

• 出廠前已完成氣體標定，安裝后無需額外校準，通電即可使用

4. 適配更多精密場景

• 多氣體標定服務，可根據用戶實際使用氣體進行出廠標定，確保測量精度

• 支持 Modbus RTU 通訊，可與上位機 / PLC 組網，實現多通道氣體配比自動化控制

• 關鍵部件采用進口電磁閥芯，壽命長、響應快，適合長期穩定運行

五、功能與操作｜快速上手

1. 面板按鍵與顯示

• 顯示界面：主界面顯示瞬時流量、設定值、單位；參數界面顯示介質、通訊參數、PID 參數

• 按鍵功能：

• 設定鍵：修改目標流量值、切換控制模式

• 菜單鍵：進入參數設置界面（量程、單位、通訊地址、PID 參數）

• 確認 / 退出鍵：保存設置或返回主界面

2. 通訊與控制配置

• 默認通訊參數：9600bps，8 數據位，無校驗，1 停止位（Modbus RTU）

• 可配置項：設備地址、波特率、校驗方式、流量單位（sccm/slm/NL/min）、標況溫度、報警閾值

• 控制模式：

• 本地控制：通過面板按鍵直接設定目標流量，電磁閥自動調節

• 遠程控制：通過模擬量信號或 RS485 數字信號設定目標流量，實現自動化控制

3. 安裝與接線說明

• 安裝方式：水平 / 垂直安裝均可，介質流向需與閥體標注方向一致

• 安裝要求：前后保留直管段（前≥5D、后≥3D），避免彎頭、閥門直接靠近閥體，影響流場穩定

• 接線接口：DB9 航空插頭，支持電源、信號、通訊一體化接線

六、典型應用場景｜全覆蓋

• 實驗室科研：氣相色譜儀、微反應裝置氣體配比、催化劑測試供氣控制

• 半導體制程：晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導體設備工藝供氣

• 工業自動化：氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣

• 新能源行業：鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試

• 精密儀器校準：氣體流量標準裝置、檢漏儀流量校準

七、選型指南｜3 步精準匹配

1. 確定氣體介質與標況單位（sccm/slm/NL/min）

2. 確定流量控制范圍與工作壓力 / 溫度

3. 確定控制與信號方式（本地 / 遠程控制、模擬量 / 數字量輸出）及特殊需求（防腐 / 高壓）

八、質保與售后

• 出廠前全流程標定與老化測試，確保性能穩定可靠

• 質保期：2 年質保，非人為損壞故障免費維修 / 更換

• 提供全程技術支持：選型咨詢、接線指導、參數調試、現場技術支持

• 可定制服務：量程定制、氣體標定、接口定制、特殊工況適配

售后聲明：質保 2 年、提供技術選型與上門調試、量大免費勘測、價格為參考價。