一、產品定位

二、核心材質（PFA+PTFE 接液，對應你之前問的三種氟塑）

接液全氟部件（無任何金屬接觸介質）

1. 感壓波紋管：PFA（全氟烷氧基）

   選型優勢：可熔融一體成型、低析出、耐溫 260℃、抗蠕變不變形、高純制程標配；相比 FEP 耐溫更高、比 PTFE 氣密性更好，氦檢漏零泄漏，適合長期承壓高純回路。

2. 過程基座 / 接頭主體：PTFE

   耐強酸堿，適配蝕刻液、強氧化劑，和 PFA 波紋管熱封結合無滲漏死角。

非接液外部

• 表殼：PP 聚丙烯（耐弱酸、輕量化、抗腐蝕）

• 表窗：PET 透明面板

• 內部傳動機芯：非金屬隔離，介質不接觸金屬齒輪

三、關鍵潔凈 & 密封工藝（半導體行業硬性標準）

1. 萬級 Class10000 潔凈室超聲波清洗，去除顆粒物、金屬雜質

2. 100% 整機氦氣分子檢漏，杜絕微量滲漏污染高純管路

3. 氮氣吹掃干燥，雙層聚乙烯真空密封無塵包裝，開箱直接上機，無需二次清洗

4. 通過 RoHS 環保認證，無重金屬溶出風險雅斯科 ASHCROFT

雅斯科ASHCROFT超高純PFA壓力表HPT_63mm

四、完整技術參數

1. 尺寸與精度

• 表盤直徑：63mm

• 精度等級：

• 量程≥90psi（6bar）：±1.5% FS

• 量程＜90psi（6bar）：±2.0% FS

• 壓力類型：表壓、真空、真空 + 壓力復合量程

• 總量程覆蓋：-1bar 真空～10bar（145psi）

2. 過程連接規格（兩種安裝方向）

• 螺紋：G3/8、R3/8

• 插管直插短管：1/4"、3/8"、1/2"、6mm、8mm（適配 PFA 軟管直插，無轉接死角）

3. 使用環境

• 介質溫度：-20~120℃（PFA 波紋管長期穩定區間）

• 環境溫度：-18~60℃

• 防護：開放式前蓋，潔凈車間室內使用

4. 重量：約 190g，緊湊型設計，適配機臺狹小閥箱、化學輸送柜

五、PFA 材質核心優勢（為什么不用 PTFE/FEP）

1. 對比 PTFE：PTFE 無法熔融焊接，波紋管易有微小孔隙、析出風險高；PFA 一體熱壓波紋管氣密性、潔凈度遠超 PTFE，滿足芯片濕法蝕刻超高純要求。

2. 對比 FEP：FEP 長期使用上限僅 200℃，抗蠕變差，高壓下波紋管易變形漂移；PFA 長期 260℃穩定，承壓測量長期零點不偏移。

3. 全氟結構耐所有強酸、強堿、有機溶劑、顯影液、超純水，不銹鋼會被快速腐蝕場景較佳的選擇。

六、典型應用場景

1. 半導體晶圓制造：濕法蝕刻、清洗槽、化學品輸送柜、高純去離子水 DIW 管路

2. 制藥生物：高純藥液、緩沖液、無菌純化水輸送

3. 精細化工：強腐蝕高純試劑、電鍍高純藥水回路

4. 光伏 / 面板：刻蝕高純酸堿管路壓力監測

七、型號選型示例與區分

訂貨型號示例

• HPT：系列；63：表盤 63mm；0~6bar：量程；G3/8：螺紋；BACK：背部中心安裝；PFA：標準波紋管材質

同系列區分要點

• HPT = 經濟型高純氟塑壓力表（PFA 波紋管）

• HPX = 微型袖珍高純表；HPS = 帶報警開關高純表

• 普通工業不銹鋼壓力表：嚴禁用于高純腐蝕藥液，金屬離子會報廢晶圓 / 藥品

八、安裝使用注意事項

1. 介質禁止超過 120℃長期運行，高溫會加速 PFA 老化、零點漂移

2. 避免劇烈壓力沖擊，前端建議加裝 PFA 緩沖穩壓接頭

3. 管路全程配套 PFA/PTFE 閥門、軟管，杜絕不銹鋼、黃銅接頭交叉污染

4. 開箱后一次性使用，拆封后無法二次無塵密封，閑置易吸附粉塵污染系統

雅斯科ASHCROFT超高純PFA壓力表HPT_63mm