核心優勢

u 原位升級改造：現有管式爐直接加裝，無需更換整爐，改造周期短、投資成本低，快速實現設備功能升級。

u 低溫沉積工藝：利用等離子體高效活化前驅體氣體，顯著降低反應溫度，適配低溫不耐受基底。

u 膜層質量優異：沉積薄膜更致密、均勻性好、附著力強，減少膜層缺陷，提升產品合格率。

u 材料體系拓展：可制備傳統CVD難以實現的多種功能薄膜，滿足不同行業工藝需求。

產品特點

u 智能交互界面：配備7寸彩色觸摸屏，支持中英文雙語操作，可實時監控、自動調節工藝參數，內置20組工藝配方，數據可存儲、可追溯，便捷管理生產/實驗流程。

u 穩定控制系統：采用PLC全程控制，支持手動/自動雙模式切換，運行穩定可靠，杜絕工藝波動。

u 適配性強：ICP離子源可升降設計，兼容不同品牌、不同規格CVD管式爐，通用性強。

u 人性化結構：操作面板60°傾角設計，符合人體工學，操作舒適便捷；上控制下艙體結構緊湊，節省安裝空間。

u 工藝高效穩定：處理速度快、均勻性好、重復性高、潔凈無污染，保障批量生產一致性。

u 支持定制化：可根據用戶爐體結構、工藝需求，定制離子源規格、控制方式等專屬方案。