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當前位置：深圳維爾克斯光電有限公司>>光學鏡片及配件>>棱鏡>> BHN 2019.0033.0002德國B.halle偏振分束立方體棱鏡 193nm
| 價格區間 | 3千-1萬 | 應用領域 | 綜合 |
|---|---|---|---|
| 組件類別 | 光學元件 |
193nm，偏振消光比＜1:200，光束偏差＜5’的偏光立方體分光器
德國B.halle可提供193nm偏振分光立方體（Polarizing Beamsplitter Cubes），中心波長193.4nm。193nm偏振分光立方體由直角棱鏡光學連接（optical contact）組成，這使得立方體偏振分束器的損傷閾值不能超過2W/cm2。193偏振立方分光體其中一個棱鏡的內表面鍍有介質偏振分光膜。B.halle分光棱鏡的該膜層在寬光譜范圍內對S偏振光具有高反射率，對P偏振光具有高透射率。德國B.halle偏振分束立方體棱鏡 193nm
B.halle193nm偏振分束器/偏振立方體分光棱鏡由熔融石英制成，可提供10mm、20mm、30mm和50mm的尺寸。當偏光立方體分光器的尺寸為10±0.5mm時，193nm PBS的測試中心區域為直徑9mm，傳輸中的消光比＜1:200，光束偏差＜5’。當B.halle偏振分束立方體的尺寸為20±0.5mm時，測試中心區域為直徑16mm。此時193偏振立方分光體傳輸中的消光比＜1:200，光束偏差＜10’。 立方體偏振分束器的透射波前畸變＜ λ/8 at
λ=532nm。偏振立方體分光棱鏡的外表面缺陷為5/1x0.1，內表面缺陷為5/3x0.16；L400x0.001。
下圖描述了偏振立方體分光棱鏡在深紫外波段（190-210nm）的透射率如何隨波長的變化而變化。其核心目的是展示該光學元件在目標工作波長193nm附近的性能。193nm偏振分光立方體在190-210nm范圍內，S光的最高透過率僅為0.5%，P光的透過率接近95%，這正是一個高質量193nm對于“被阻擋"的偏振態（即S光）所表現的典型特征——高消光比。消光比（通常指Tp/Ts）是衡量偏振分光棱鏡性能的關鍵指標，這個值越高越好。例如在193nm處，B.halle分光棱鏡的Ts約為0.25%，Tp約為75%，那么消光比約為300:1。德國B.halle偏振分束立方體棱鏡 193nm
193nm偏振分光立方體（193nm PBS ：Polarizing Beamsplitter Cubes）的透過率曲線
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