目錄:上海茂默科學儀器有限公司>>減振/測振>>減振臺>> AVI-400 系列AVI-400 主動減振臺
| 應用領域 | 生物產業,石油,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 | 隔振技術 | 壓電主動式 |
|---|---|---|---|
| 主動隔振范圍 | 1–200 Hz（0.5 Hz 配 LFS） | 被動隔振范圍 | 200 Hz 以上 |
| 隔振自由度 | 6 | 系統噪聲 | < 50 nG/√Hz |
| 電源需求$ | 90–125 / 200–250 VAC，50–60 Hz$ |
AVI-400 主動減振臺 是面向電子顯微鏡及大型精密研究儀器的模塊化低剖面主動隔振平臺，適用于 SEM、TEM、UHV-SPM、光刻設備、高精度計量與光譜儀器等低頻振動敏感場景。系統采用壓電傳感器、壓電致動器與控制電子單元，覆蓋六個自由度振動隔離；標準主動隔振范圍為 1 至 200 Hz，200 Hz 以上由機械結構進行被動衰減，搭配 LFS-3 可將低頻隔振能力延伸至 0.5 Hz。平臺提供 AVI-400S、AVI-400M、AVI-400XL 三種標準規格，標準雙隔振器配置承載約 636 至 909 kg，并可通過多隔振器方案支持更高載荷。
平臺提供三種標準尺寸（AVI-400S、AVI-400M、AVI-400XL），覆蓋從緊湊型儀器到大型設備的安裝需求。通過增加隔振器數量（如四隔振器配置），可支持更高載荷和更大尺寸的定制方案。
AVI-400 主動減振臺采用壓電傳感器與致動器組成的閉環主動控制系統：高靈敏度壓電傳感器實時檢測平臺在六個自由度（X/Y/Z 平移 + 繞三軸旋轉）上的振動加速度，控制器在毫秒級時間內計算出反向補償信號，驅動壓電致動器產生等幅反向的抵消力，從而主動抑制環境振動向儀器的傳遞。
該技術的關鍵性能指標：
主動隔振范圍：1–200 Hz（搭配 LFS 低頻傳感器系統可延伸至 0.5 Hz）
被動隔振范圍：大于 200 Hz（通過機械結構固有特性衰減）
振動傳遞率：10 Hz 以上低于 0.017（即衰減大于 98%）
系統本底噪聲：低于 50 nG/√Hz
AVI-400 在低頻段（1–10 Hz）的表現尤為突出：傳統被動式氣浮平臺在低頻段因固有頻率限制而難以有效衰減振動（被動隔振有效區域從固有頻率的 √2 倍開始），而 AVI-400 的主動控制系統可以從 1 Hz 開始即提供有效隔振，搭配 LFS 系統可進一步延伸至 0.5 Hz，有效彌補了被動隔振方案在低頻段的不足。
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 系統結構 | 分體式隔振單元與控制器 |
| 主動控制范圍 | 約 1.0 至 200 Hz |
| 被動控制范圍 | 約 200 Hz 以上 |
| 承載能力 | 最高 800 kg，需均勻載荷且低重心 |
| 控制器尺寸 | 241 × 287 × 142 mm |
| 輸入電壓 | 90 至 125 VAC 或 200 至 250 VAC，50 至 60 Hz |
| 功耗 | 典型 18 W |
| 使用溫度 | 5 至 40 ℃ |
| 相對濕度 | 10 至 90%，5 至 30 ℃；10 至 60%，30 至 40 ℃ |
| 使用環境 | 僅限室內使用 |
| 監測功能 | 可輸出隔振前后振動監測信號，LED 顯示過載狀態 |
| 型號 | 單個隔振單元尺寸 | 單個隔振單元重量 |
|---|---|---|
| AVI-400S/LP | 190 × 396 × 112.5 mm | 約 15 kg |
| AVI-400M/LP | 190 × 720 × 112.5 mm | 約 20 kg |
| AVI-400XL/LP | 230 × 856 × 112.5 mm | 約 24 kg |
注：請聯系廠商了解定制方案。
掃描電子顯微鏡（SEM）
透射電子顯微鏡（TEM）
聚焦離子束系統（FIB）
光刻設備
高精度三坐標測量機（CMM）
激光干涉儀系統
| 頻率（Hz） | 無隔振（dB） | AVI-400 隔振后（dB） | 衰減量（dB） |
|---|---|---|---|
| 2 | 參考 | 參考 - 20 | 大于 20 |
| 5 | 參考 | 參考 - 35 | 大于 35 |
| 10 | 參考 | 參考 - 40 | 大于 40 |
| 20 | 參考 | 參考 - 50 | 大于 50 |
| 50 | 參考 | 參考 - 55 | 大于 55 |
圖: Hitachi S-4800 SEM 搭配 AVI-400 主動隔振平臺
LFS（Low Frequency Sensor）系統是 AVI-400 的可選升級模塊，可將主動隔振范圍從 1 Hz 向下延伸至 0.5 Hz，進一步抑制極低頻段（0.5–1 Hz）的環境振動。該模塊通過更高靈敏度的低頻傳感器替代標準傳感器，適用于對亞赫茲級振動特別敏感的應用場景（如超高分辨率 TEM、原子級成像等）。LFS 系統與 AVI-400 控制器直接集成，安裝簡便。
注：更多信息，請聯系我們了解定制方案。
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