肖特基場發射電子探針Plus

• JXA-8530F Plus采用浸沒式肖特基場發射電子槍,優化了角電流密度，能利用2 μA以上的大探針電流進行分析，還提高了分析條件下的二次電子像的分辨率。

高級軟件

• 新開發了多種基于Windows操作系統的軟件，其中包括：能使痕量元素分析更加簡便的“痕量元素分析程序"、能自動制作相圖的“相圖制作器"以及只需簡單輸入就能對表面凹凸不平樣品進行測試的“不平坦樣品的分析程序"等。

靈活的WDS配置

• X射線波譜儀可以選擇140 R或100 R羅蘭圓， 羅蘭圓半徑為140 mm的XCE/L型X射線譜儀檢測范圍寬，波長分辨率高和P/ B比優異，100 mm的H型X射線譜儀具有X射線衍射強度高的特點，可以根據需要選擇使用。

WDS/EDS組合系統

• JXA-8530FPlus標配了JEOL制造的30平方毫米 SD檢測器（以下簡稱SD檢測器），憑借高計數率的SD檢測器，在與WDS相同的分析條件下可以進行EDS分析，通過簡單的操作就能采集EDS譜圖。

強力、清潔的真空系統

• 高強力真空系統包括兩臺磁懸浮渦輪分子泵， 鏡筒內還采用兩個中間室，通過差動抽氣保持電子槍室的高真空。

軟X射線分析譜儀 (SXES)

• SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)軟X射線分析譜儀是日本東北大學多元物質科學研究所（寺內正己教授）和日本電子株式會社共同開發的的高分辨率軟X射線分析譜儀。 新開發的變柵距衍射光柵(VLS）和高靈敏度的CCD相機組合，同時檢測Li-K系譜線和B-K系譜線，該譜儀實現了的能量分辨率，因而能進行化學結合狀態分析等。

miXcroscopy （關聯顯微鏡)

• miXcroscopy 光學顯微鏡/掃描電子顯微鏡關聯系統能批量登錄光學顯微鏡指定的坐標數據作為EPMA的分析點，該系統于需要用光學顯微鏡決定分析位置的樣品。

多功能樣品室

• 樣品室的可擴展性強，配備了樣品交換室，可以安裝各種附件。

可以安裝的附件：

• 電子背散射衍射系統（EBSD）
• 陰極熒光檢測系統
• 軟X射線分析譜儀
• 不暴露在大氣環境下的轉移艙
• 高蝕刻速率的離子源

電子探針可以對試樣中微小區域（微米級）的化學組成進行定性或定量分析，可以進行點、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動進行批量定量分析。由于電子探針技術具有操作迅速簡便、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點，在冶金、地質、電子材料、生物、醫學、考古以及其它領域中得到日益廣泛地應用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。