等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子表面處理機(jī)，是一種對(duì)表面進(jìn)行清洗、活化和涂層處理的設(shè)備。

這是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

1.非接觸清潔：無需接觸物體表面

2.干式清潔：氣體干燥清潔，無需烘干

3.綠色環(huán)保：無污染物排放，符合環(huán)保趨勢

4.清潔：等離子體方向性弱，可深入微孔與凹陷，復(fù)雜形狀清洗效果優(yōu)異。

5.快速高產(chǎn)：工藝流程僅需幾分鐘，顯著大幅提高生產(chǎn)效率。

6.成本低廉：真空條件易達(dá)，設(shè)備投入低，綜合成本優(yōu)于濕法。

7.場地潔凈：免去清洗液的儲(chǔ)運(yùn)排環(huán)節(jié)，易于保持生產(chǎn)環(huán)境整潔。

8.材質(zhì)普適：兼容金屬、半導(dǎo)體及各類高分子材料，尤其適合不耐熱/溶劑材質(zhì)，支持局部或整體處理。

9.表面改性：在去污同時(shí)改善表面性能（如提高潤濕性、增強(qiáng)黏著力）。