六硼化鑭單晶陰極Kimball Physics ES-423E(長壽命)六硼化鉭(LaB6)陰極是一種高性能、電阻加熱的熱離子電子源。目前,它被用于許多亮度受限的電子光學系統:SEM、TEM、探針、電子光刻系統等。它基于一種經過充分驗證的加熱器結構,該結構最近得到了進一步的改進,其特征包括提高了加熱器電路的可靠性,提高了LaB6晶體的穩定性,以及減少了LaB6的暴露以減少文納爾孔徑污染。在商業SEM和TEM中,使用合適的槍真空,可以定期實現超過6個月的連續運行壽命。在全工作溫度下的連續操作提高了槍的熱穩定性,從而提高了束流穩定性。
應用程序
掃描電子顯微鏡
透射電子顯微鏡
電子光刻系統
電子加速器
X射線源
自由電子激光
自定義應用程序
功能/選項:
延長使用壽命
數千個工作小時
清潔真空
結構保證
安裝失敗
的穩定性
精密加工碳纖維支架
耐高溫性高
高亮度/低能量擴散
<100>定向單晶
最佳質量/高純度材料
15 A/cm2的發射電流密度可優化壽命(壽命更有限,可達30 A/cm2)
工作壓力<10-7torr
精確的微平臺
的光學性能
受控源大小
可提供標準直徑
發射表面尺寸范圍
可定制尺寸
AEI底座、緊湊型CB-104底座或要求定制安裝
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