NAS 技研 SC 系列：精準捕捉微量金屬污染，守護材料品質

時間：2026/3/23閱讀：272

在半導體制造、精細化工和材料科研的前沿領域，哪怕是晶圓或基材表面一絲一毫的微量金屬污染，都可能成為產品良率的 “隱形殺手"。人工采樣易帶入二次污染，傳統設備又難以適配親水面、粗糙表面等復雜工況 —— 而日本 NAS 技研推出的 SC 系列微量金屬污染物采樣設備，正是為破解這些痛點而生的專業解決方案。

作為有限會社 NAS 技研深耕行業多年的經典機型，SC 系列（涵蓋 SC-3100/8150/9100/9200）從設計之初就錨定 “精準、低污染、高適配" 三大核心目標。設備全程由電腦控制，可靈活切換圓環形、扇形、端面、弧形等 7 種采樣模式，無論是晶圓正面的均勻區域，還是邊緣、端面的特殊位置，都能實現精準覆蓋，不漏過任何一處潛在污染。

針對不同場景的需求，SC 系列提供了自動與手動兩種操作邏輯：SC-3100、SC-9100、SC-9200 主打全自動流程，從支架具裝卸到采樣液的供給與回收，全環節無需人工干預，減少人為操作帶來的污染，特別適合工業化批量采樣；SC-8150 則以手動操作為特色，結構更精簡，適合實驗室小批量、個性化的采樣實驗，讓研發人員能靈活調整參數，適配新材料的探索性測試。

更值得一提的是，SC 系列突破了傳統采樣設備的材質限制：除了常規的憎水面采樣，SC-8150、SC-9100、SC-9200 還支持親水面采樣，哪怕是硅以外的化合物半導體晶圓，或是因蝕刻導致表面粗糙的基材，也能穩定完成污染物采集，甚至可以對非重金屬離子進行采樣，覆蓋材料研發與生產的多元需求。

在易用性與穩定性上，這款設備同樣表現亮眼：它無需復雜的真空系統，僅需放置在無塵通風柜內，搭配 100~240VAC 寬電壓供電，就能快速投入使用；電腦端可實時記錄、存儲采樣數據，為后續的污染物分析、品質追溯提供完整依據；不同型號的機身尺寸緊湊，重量控制在 35-55kg 之間，無論是實驗室桌面還是潔凈車間，都能靈活部署，不會占用過多空間。

從汽車電子的芯片制造，到醫藥中間體的材料分析，再到新型功能材料的科研攻關，NAS 技研 SC 系列正成為越來越多企業與實驗室的 “采樣標配"。它以日本制造的精密工藝，為材料的品質管控筑牢防線，讓微量金屬污染無所遁形。

NAS 技研 SC 系列：精準捕捉微量金屬污染，守護材料品質

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