在半導體、熱處理等工業制程中,穩定高效的真空排氣是工藝穩定的核心保障。日本樫山工業(Kashiyama)推出的 SD 系列干式真空泵,以高耐用性、小型化、低功耗的優勢,成為工業真空場景的優選設備。
系列延續了品牌經典的制程耐性并持續優化,采用豎型螺桿結構與全新加熱系統,搭配特殊耐腐蝕材料,大幅強化設備耐用性,豐富的溫度區間可適配各類嚴苛制程。設備實現了小型化,20000L/min 級機型占地面積較前代縮減 35%,同時進一步降低電力消耗,兼顧性能與節能。
全系列覆蓋多檔排氣規格,排氣速度從 10000L/min 到 100000L/min 可選,到達壓力低至 0.3Pa,滿足從實驗室到量產線的全場景真空需求。設備符合 SEMI、CE、NRTL 等國際安全規格,設計高可靠,搭載腳輪便于移動部署,適配各類工業現場。
設備采用三相 AC200~220V 供電,支持氮氣吹掃,冷卻水量需求低,功耗控制優異,SDX 節能款適配熱處理制程,SDT/SDH 高耐用款適配嚴苛制程,可根據工藝需求靈活選型。全系列排氣性能穩定,寬壓力區間保持高效抽速,廣泛應用于半導體制造、真空熱處理、材料研發等領域,是工業真空系統的核心配套設備。