日本野宮產(chǎn)業(yè)專為半導(dǎo)體、液晶顯示器等精密制造領(lǐng)域打造的定制化工業(yè)刷,工藝精度、嚴(yán)苛的潔凈生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),成為晶圓、玻璃基板等精密部件制程清洗、去膠、拋光的核心工具,為高良率生產(chǎn)提供可靠保障。
這款工業(yè)刷采用定制化設(shè)計(jì),可根據(jù)不同制程需求,靈活調(diào)整刷毛材質(zhì)、排布密度、刷頭結(jié)構(gòu)與尺寸規(guī)格,覆蓋圓盤刷、輥刷、條刷等全品類形態(tài)。刷毛選用高耐磨、耐化學(xué)腐蝕的優(yōu)質(zhì)尼龍等材質(zhì),部分型號(hào)采用非硅材料,通過(guò)特殊溶劑浸泡的硅膠去除工藝,大幅提升硅剝離效果,同時(shí)避免硅污染,適配半導(dǎo)體晶圓、液晶面板的超潔凈制程要求。
刷體采用一體化成型工藝,結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、無(wú)異物脫落風(fēng)險(xiǎn),可耐受各類酸堿清洗液、有機(jī)溶劑的長(zhǎng)期浸泡,在嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制造環(huán)境中保持性能穩(wěn)定。刷毛采用精密排布設(shè)計(jì),清洗力柔和均勻,既能高效去除晶圓、玻璃表面的微小顆粒、光刻膠殘留,又不會(huì)劃傷精密基材,同時(shí)支持 PVA 刷輥等特殊定制,適配清洗、水切割等多元化工序。
為滿足半導(dǎo)體行業(yè)的超潔凈要求,所有產(chǎn)品均在 100 級(jí)潔凈室中完成超純水清洗、溶劑浸泡剝離、清潔烤箱干燥與雙重包裝,可直接帶入潔凈室使用,從源頭杜絕污染風(fēng)險(xiǎn)。無(wú)論是半導(dǎo)體晶圓的制程清洗、CMP 后清潔,還是液晶面板的玻璃基板拋光、去膠,都能提供穩(wěn)定、高效的清潔效果,助力制造的良率提升。
核心特點(diǎn)
全品類定制化:圓盤刷、輥刷、條刷等多形態(tài)定制,適配不同設(shè)備與制程需求
非硅低污染設(shè)計(jì):特殊硅膠去除工藝,大幅降低硅污染風(fēng)險(xiǎn),滿足超潔凈要求
高耐化學(xué)性材質(zhì):優(yōu)質(zhì)尼龍刷毛,耐受酸堿、有機(jī)溶劑,使用壽命長(zhǎng)
潔凈室級(jí)生產(chǎn):100 級(jí)潔凈室超純水清洗、雙重包裝,可直接入潔凈室使用
精密工藝保障:刷毛排布均勻,柔和高效清潔,不損傷晶圓、玻璃等精密基材
日本本土制造:野宮產(chǎn)業(yè)匠心工藝,品控嚴(yán)格,性能穩(wěn)定可靠
適用場(chǎng)景
半導(dǎo)體晶圓制造的制程清洗、CMP 后清潔、光刻膠去除
液晶顯示器、OLED 面板的玻璃基板清洗、拋光、去膠
半導(dǎo)體封裝、電子元器件的精密清潔
光學(xué)玻璃、鏡頭等光學(xué)元件的超精密清洗
其他精密制造領(lǐng)域的超潔凈清洗、去膠工序