日本 NCC DTSP10-03 落塵計數器技術參數

時間：2026/5/14閱讀：236

日本 NCC DTSP10-03 落塵計數器（附著粉塵測量儀）

在半導體、電子制造、精密光學等無塵室環境中，10μm 以上的粗大落塵 / 附著異物是導致產品不良的主要誘因。傳統浮游粒子計數器無法有效捕捉這類沉降型粗顆粒。日本 NCC（株式會社エヌシーシー）推出的 DTSP10-03 落塵計數器，專為10μm～100μm 落塵分級計數設計，采用硅晶圓采樣法，精準評估潔凈室及設備內部的落塵污染水平，是異物不良溯源與潔凈環境驗證的關鍵設備。

一、核心技術參數

品牌：NCC（株式會社エヌシーシー，日本）
型號：DTSP10-03
測量對象：附著粉塵 / 落塵（非浮游塵）
最小可測粒徑：10μm
標準粒徑分級：10μm、30μm、50μm、100μm
自定義分級：11～99μm 范圍內任意設定閾值
兼容晶圓尺寸：4 英寸（φ100mm）、2 英寸（φ50mm，可選）
最大測量面積：φ80mm（4 英寸）、φ30mm（2 英寸）
功能配置：Trimming 功能（有）、顯示切換（分級獨立顯示）
輸出方式：USB 連接 PC，專用軟件實時顯示 / 存儲 / 導出數據
電源：AC100～240V 50/60Hz
尺寸 / 重量：主機約 280×220×450mm / 約 18kg

二、核心工作原理

DTSP10-03 基于沉降采樣法：將高平整硅晶圓（4 英寸 / 2 英寸）放置于待測區域（無塵室臺面、設備內部、傳送帶表面等），暴露一定時間后，晶圓表面會自然吸附沉降的粗大粉塵。主機通過高精度光學掃描 + 圖像識別算法，自動識別晶圓表面顆粒，按粒徑分級計數并生成分布報告，精準反映落塵污染狀況。

三、核心功能與特性

粗顆粒精準分級計數
專門針對10μm 以上落塵（傳統浮游計數器盲區），標準 4 級分級 + 自定義閾值，精準匹配不同行業異物不良粒徑特征，助力不良根因分析。
靈活采樣，適配復雜場景

晶圓可放入狹小空間（如設備腔體、高溫爐內、運行中傳送帶），2 英寸晶圓專為狹窄區域設計；
采樣位置無限制：只要能放置晶圓即可測量，覆蓋無塵室、設備內部、包裝環境等全場景。

高效數據管理與追溯
配套專用軟件，實時顯示顆粒分布圖像、分級數量 / 濃度；自動存儲歷史數據，支持導出 Excel/CSV，便于長期趨勢分析與質量追溯，滿足 GMP/ISO 潔凈環境驗證要求。
經濟環保，晶圓可循環使用
硅晶圓經專用工具清潔后可多次重復使用，大幅降低耗材成本；無化學試劑消耗，綠色環保。
日本原裝品質，穩定可靠
NCC 多年潔凈環境測量技術積淀，光學系統與圖像算法成熟，抗環境光干擾，測量重復性好，適應 20～40℃、濕度≤80% RH 無塵室環境，長期運行故障率低。

四、核心優勢

直擊不良根源：精準測量導致產品缺陷的10μm 以上落塵，填補傳統浮游計數器的測量空白，直接關聯異物不良率。
全場景適配：可在任何可放置晶圓的位置采樣，包括設備內部、高溫區域、狹小腔體，實現無落塵評估。
數據精準可追溯：分級計數 + 圖像留存 + 歷史記錄，滿足潔凈室日常監測、設備驗證、供應商審核等合規需求。
低成本高效益：晶圓循環使用，無耗材依賴；操作簡單，單人即可完成采樣與測量，大幅提升潔凈環境管理效率。

五、典型應用場景

半導體行業：晶圓廠無塵室、光刻 / 刻蝕設備內部、封裝測試區域落塵監測，異物不良溯源。
電子制造：SMT 車間、LCD/LED 生產線、精密電子組裝環境，排查附著粉塵導致的短路 / 外觀不良。
精密光學：鏡頭 / 鏡片加工、鍍膜車間、光學組件裝配區，控制落塵引發的表面瑕疵。
醫藥 / 食品：無菌包裝車間、藥品生產潔凈區，驗證環境潔凈度，降低異物污染風險。
精密加工：精密模具、航空零部件、醫療器械制造環境，評估設備內部與生產區域的落塵水平。