在半導體、精密化工、電子制造等行業,微量流體的穩定輸送與精準控制,是保障制程良率與工藝一致性的關鍵環節。日本 TOKYO KEISO(東京計裝)CLFC300 系列一體式超聲波流量控制器,以一體化集成設計、高速響應控制與強抗干擾能力,成為高純度藥液、超純水及漿料輸送場景的核心設備。
核心優勢
一體化集成設計,安裝便捷省空間:將超聲波流量檢測器、控制閥、演算控制電路集成于一體,無需額外管路與配件,大幅簡化安裝流程,適配設備內嵌與狹小空間布局。
高速響應閉環控制,流量穩定精準:搭載高性能 DSP 信號處理芯片,階躍響應時間≤1.5 秒,可快速跟蹤并穩定至設定流量,±0.2% FS 的高精度,滿足半導體制程的嚴苛控制要求。
強抗氣泡設計,復雜流體適配廣:優化的超聲波時差法算法,顯著提升抗氣泡干擾能力,純水、化學品、CMP 漿料等流體均可穩定測量,降低斷流、誤判風險。
輕量化機身,耐用免維護:相比上代產品體積縮小 20%、重量減輕 35%,便于搬運與安裝;夾管閥采用耐腐耐磨材質,長期使用無泄漏風險,維護成本低。
多信號輸出,數據可追溯:支持脈沖、報警、4-20mA 電流輸出,可選 RS485 通信接口,可與上位機聯動,實現流量數據實時監控與記錄,滿足工業質控溯源需求。
關鍵參數
典型應用場景
半導體制造:CMP 設備漿料定量供給、超純水流量控制、蝕刻 / 清洗藥液精準配比。
精密化工:實驗室微量藥液定量輸送、高純度試劑閉環流量控制。
電子 / 光伏行業:晶圓制程藥液恒流控制、超薄材料制備流體輸送。
醫療 / 生物領域:高純緩沖液、試劑精準分配,滿足無菌無交叉污染要求。