TANAKA TORR?LAR 高純度氣體微壓調節(jié)器介紹

時間：2026/5/29閱讀：174

日酸 TANAKA TORR?LAR 壓力調節(jié)器是日本原裝超高純度氣體用微壓調壓閥，專為半導體、電子、實驗室高純氣路設計，全流程千級潔凈室組裝、氦檢漏全檢，SUS316L 接液材質、超低泄漏率，可精準穩(wěn)定控制二次側微壓，適用于 N?、Ar、He、H?、O?等高純工藝氣體穩(wěn)壓控制。

產品詳細參數

表格

參數項目	規(guī)格數值
品牌	日酸 TANAKA（Nissan Tanaka）
型號	TORR?LAR（TORR?L 系列）
類型	高純度氣體微壓壓力調節(jié)器
入口最高壓力	1.5MPa
出口最高壓力	0.06MPa
最大流量	40L/min（N?，P1=0.1MPa/P2=0.06MPa）
使用溫度	-5～+40℃
接氣部材質	本體 / 隔膜：SUS316L
表面粗糙度	可選電解研磨 Ra≤0.25μm
外部泄漏	≤1.3×10?? Pa·m3/s
出入口口徑	3/8"
重量	約 5.2kg
生產環(huán)境	0.3μm Class1000 潔凈室組裝
出廠檢測	全數氦檢漏 + 性能全檢
適用氣體	高純氮、氬、氦、氫、氧等潔凈工藝氣體

應用領域

半導體 / 電子：晶圓制程、外延、擴散、CVD 高純工藝氣穩(wěn)壓
分析實驗室：GC、LC?MS、光譜儀、載氣 / 燃燒氣精密調壓
光伏 / 顯示：FPD、LED、太陽能電池制程氣路控制
特種氣體：高純惰性氣體、可燃 / 氧化性氣體安全調壓
科研裝置：量子、納米、薄膜、真空系統(tǒng)氣路穩(wěn)壓
生物醫(yī)藥：無菌氣、霧化氣、反應氣高精度壓力控制

產品詳細內容

日酸 TANAKA TORR?LAR 壓力調節(jié)器是日本日酸針對超高純度氣體與微壓精密控制開發(fā)的調壓設備，作為半導體級氣路的經典機型，以超高潔凈度、超高穩(wěn)定性、超低泄漏率成為制造與科研領域的產品。設備全程在 0.3μm Class1000 潔凈室內組裝，出廠前通過氦檢漏測試，從源頭杜絕污染與泄漏風險，滿足半導體、電子、新材料等行業(yè)對氣路潔凈度的嚴苛要求。

該調節(jié)器采用全 SUS316L 接氣結構，隔膜與閥體均為高耐腐蝕不銹鋼，可長期穩(wěn)定輸送高純惰性氣體、氫氣、氧氣等工藝氣體，無析出、無污染、無金屬污染。支持電解研磨表面處理，表面粗糙度 Ra≤0.25μm，大幅降低氣體滯留與雜質吸附，特別適合對純度與潔凈度敏感的先進制程。入口最高承壓 1.5MPa，出口精準穩(wěn)定至 0.06MPa 微壓區(qū)間，流量可達 40L/min，兼顧高精度與穩(wěn)定流量需求。

日酸 TANAKA TORR?LAR 壓力調節(jié)器專為二次側微壓精密控制設計，調節(jié)平穩(wěn)、無脈動、無沖擊，可有效保護后端精密儀器與制程設備，避免壓力波動導致的工藝異常與測試誤差。外部泄漏率≤1.3×10?? Pa?m3/s，達到半導體設備嚴苛標準，確保氣路長期安全運行。設備結構堅固耐用，維護簡單，使用壽命長，可大幅降低氣路系統(tǒng)運維成本與更換頻率。

憑借日本原廠制造工藝、嚴格的品質管控與長期現場驗證，TORR?LAR 廣泛應用于半導體、光伏、顯示、分析檢測、生物醫(yī)藥、科研裝置等領域，是高純氣路、特種氣體、精密制程、實驗室載氣系統(tǒng)中實現穩(wěn)定、安全、高精度壓力調節(jié)的核心部件，為制造與科學研究提供可靠的氣路保障。

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