日本富士工Fujiwork HKT-Master01AA高精度薄膜測厚儀,是品牌主打超高精度檢測的臺式厚度檢測設(shè)備,厚度讀數(shù)分辨率可達(dá)0.01μm,搭配0.14N超低恒定測量壓力,下壓過程柔和無沖擊力,不會損傷超薄、高脆弱基材,廣泛適用于半導(dǎo)體光刻膠薄膜、光學(xué)濾光片、陶瓷靜電卡盤、無紡布、橡膠薄片等物料的精密厚度檢測。
設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)測量范圍0~500μm,標(biāo)配R30硬質(zhì)合金球形測頭,耐磨抗腐蝕,長期大批量連續(xù)檢測無需頻繁更換耗材、重復(fù)校準(zhǔn);整機(jī)搭載勻速電動(dòng)升降機(jī)構(gòu),測頭自動(dòng)平穩(wěn)下壓、抬升,規(guī)避人工手動(dòng)操作產(chǎn)生的偏移、壓力誤差,多次重復(fù)測量精度穩(wěn)定控制在0.1μm以內(nèi),能夠滿足半導(dǎo)體、光學(xué)材料行業(yè)嚴(yán)苛的檢測精度要求。
設(shè)備分為標(biāo)準(zhǔn)臺式實(shí)驗(yàn)室款與便攜電池款兩大配置,臺式機(jī)型適合研發(fā)實(shí)驗(yàn)室開展批量定量對比檢測,小型便攜款機(jī)身輕量化,可搭配移動(dòng)支架直接轉(zhuǎn)運(yùn)至產(chǎn)線現(xiàn)場完成實(shí)時(shí)抽檢;機(jī)身支持自定義連續(xù)多點(diǎn)掃描模式,可沿卷材橫向、縱向自動(dòng)采集數(shù)十組厚度數(shù)據(jù),配套原廠專用分析軟件可一鍵導(dǎo)出完整厚度分布數(shù)據(jù)圖表,直觀判斷涂布、流延工藝的均勻程度。
整機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行環(huán)境為5~40℃無凝露空間,寬大平整的不銹鋼測臺可放置陶瓷板材、整卷無紡布、長條橡膠長條等各類異形試樣;全套出廠配件包含標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)厚度片、專用清潔毛刷、防滑試樣固定夾具,開箱完成零點(diǎn)校準(zhǔn)后即可投入日常批量檢測工作。
富士工同期還有FF200H型號測厚設(shè)備,主打大尺寸板材、厚膜材料檢測,量程更大、承載臺面加寬,適配陶瓷厚坯、厚橡膠卷材;HKT-Master01AA側(cè)重超薄精密薄膜檢測,兩款機(jī)型搭配可覆蓋企業(yè)全部厚薄試樣檢測需求。設(shè)備適用場景覆蓋多個(gè)行業(yè):半導(dǎo)體工廠光刻膠薄膜厚度精準(zhǔn)標(biāo)定、光學(xué)企業(yè)濾光片成品厚度檢測、陶瓷加工行業(yè)坯片精密厚度管控、無紡布面料工廠來料質(zhì)檢、硅膠彈性薄片配方工藝對比試驗(yàn),一臺設(shè)備兼顧多種軟質(zhì)、硬質(zhì)薄片檢測需求,降低實(shí)驗(yàn)室多臺儀器采購成本。