天瑞 EDX600PLUS 采用下照式 + 可視化定位 + 一鍵測試,操作流程清晰、自動化程度高,以下是完整標準操作步驟:

檢查環境:溫度 15–30℃、無強光、無強振動、無塵。
打開儀器電源,啟動電腦并運行 EDX600PLUS 專用軟件,登錄賬號。
軟件內點擊預熱,預熱約30 分鐘,待 X 光管、探測器穩定。
預熱完成后,點擊初始化,儀器自動自檢光路、探測器、高壓,約 10–30 秒完成。
打開樣品倉蓋,將對應鍍層的標準校準片(如 Ag、Au、Ni、Sn 標準片)放在樣品臺中間。
關閉倉蓋,通過軟件雙攝像頭(全景 + 局部)觀察,調節 XY 平臺與 Z 軸對焦,使標準片測試點清晰、居中。
選擇對應校準程序,點擊校準,儀器自動采集標準片信號并建立工作曲線。
校準完成后,軟件提示 “校準成功",可復測標準片驗證偏差。
打開倉蓋,用鑷子輕放待測樣品,確保表面干凈、無油污、無氧化。
關閉倉蓋,打開攝像頭曝光,調節 XY 平臺移動樣品,通過30 倍放大找到目標測試點(如微小引腳、螺紋、深槽)。
調節 Z 軸自動對焦,配合激光定位 + 距離補正,確保光斑精準落在測試點,異型面(曲面 / 凹凸)也可清晰對焦。
選擇對應準直器(0.1×0.2mm/Φ0.15mm 等),匹配樣品大小。
在軟件中選擇對應鍍層類型程序(如 Au/Ni/Cu、Sn/Cu、Pd/Ni 等)。
設置測試時間(常規 5–40 秒,推薦 10 秒)、重復次數(建議 2–3 次取平均)。
確認元素分析范圍與鍍層層數(最多 5 層),軟件自動調用 EFP 算法。
點擊軟件開始測試或儀器面板一鍵測試按鈕,儀器自動發射 X 射線、采集熒光信號、計算厚度。
測試過程中,實時顯示計數率、能量譜圖、進度條。
測試完成,界面立即顯示各層厚度值、元素含量、RSD 重復性。
可點擊保存存儲數據,或導出 / 打印報告(PDF/Excel)。
批量測試:更換樣品,重復定位→開始測試,軟件自動記錄所有數據。
測試結束:先關閉軟件,再關閉儀器電源,清潔樣品臺與倉蓋(酒精擦拭)。
長期不用:每周開機預熱 30 分鐘,保持儀器狀態。
光斑精準:微小樣品用最小準直器(0.1mm),確保光斑覆蓋測試點。
異型樣品:利用距離補正與變焦,螺紋、深槽、曲面均可穩定測量。
數據可靠:同一點測 2–3 次取平均,RSD<3% 為合格。
安全:測試時嚴禁打開倉蓋,X 射線僅在倉內工作,安全聯鎖保護。

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