德國 Hellma Materials CaF?氟化鈣單晶圓片毛坯，規格 Φ100.0mm×30.0mm 平 - 平雙面，晶向定向生長，LD-A 光刻品級，全套光學指標拉滿：應力雙折射≤0.5nm/cm PV、折射率均勻性 1ppm PV、氣泡夾雜嚴控 1×0.1mm 以內，外周 1.5mm 保護倒角、有效通光孔徑居中 Φ95mm，尺寸公差、表面粗糙度均按半導體裝備標準管控，是 193nm ArF 深紫外光路的基材。

特點：

1. 193nm 深紫外高透過，激光耐久度好

LD-A 為 Hellma 高等級光刻氟化鈣，193nm 波段無吸收，可承受超 10?次激光脈沖沖擊，長期高頻輻照不產生色心、不透光衰減，解決深紫外激光下材料老化、光斑漂移痛點。

2.晶向超低應力雙折射，波前零畸變

氟化鈣立方晶系中為本征雙折射最小取向，產品實測≤0.5nm/cm PV，可以消除偏振像差、光束分裂問題，保障光路偏振態高度一致，是納米級成像精度的保障。

3. 1ppm 高折射率均勻性，成像一致性拉滿

整版晶體折射率波動控制在 1ppm PV 以內，光束穿過晶體后波前畸變小，可以提升光學系統成像均勻度，直接決定光刻機、干涉儀等設備最終分辨率與良率。

4. 低色散 + 優異熱穩定性，復雜工況穩定運行

阿貝數高達 95.23，色差校正能力強；熱導率 9.71W/(m?K)，高功率激光工作下快速散熱，抑制熱透鏡效應與熱形變，

5.毛坯精密加工，后續精加工兼容性強

Φ100×30mm 標準圓片毛坯，磨拋基面 Rq2μm，外周防崩邊倒角，可直接二次拋光、鍍膜、切割為透鏡、窗口片、棱鏡，縮短下游元件加工周期，尺寸容錯性充足。

德國 Hellma CaF?氟化鈣特點介紹

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