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Hellma 氟化鈣(CaF?)折射率
基礎折射率定值:
關鍵波長精準折射率(直接用于光學設計建模)

2.色散核心參數(shù)(決定鏡頭色差設計)
阿貝數(shù) Vd=95.23,已知光學材料中色散低一檔,193nm 光刻物鏡消色差選擇;
Sellmeier 色散公式由 Hellma 原廠提供,可代入任意波長精確計算折射率,用于 Zemax/CodeV 仿真建模。

不同應用場景折射率成套選型方案
方案 1:193nm ArF 光刻系統(tǒng)
晶向:強制(111)
等級:LD-A
設計折射率:n???=1.50143
附加指標:均勻性 1ppm、雙折射≤0.5nm/cm、氣泡夾雜 1×0.1mm 以內(nèi)
價值:保證整顆鏡片折射率一致,納米級投影無波前畸變
方案 2:248nm KrF 光刻 / 準分子激光打標
晶向:(100) 可降本
等級:LD-B
折射率:n???=1.4708
方案 3:紅外測溫、中紅外真空窗口
晶向:隨機 /(100) 均可
等級:LD-D 工業(yè)級
折射率按 3~5μm 紅外波段取值 1.415 左右
方案 4:科研深紫外干涉儀、光束質(zhì)量檢測
晶向:(111)
等級:LD-A
重點管控:折射率空間均勻性、偏振態(tài)帶來的等效折射率差
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