X 射線三維顯微鏡采用顯微 CT 成像原理,無需切片、無需破壞樣品,通過 X 射線穿透掃描完成內部結構三維重建,可清晰觀測樣品內部形貌、孔隙、裂紋、封裝結構與界面狀態。結合設備操作流程,規范的樣品裝夾、掃描參數設置與圖像觀測方法,能有效提升成像清晰度與檢測精度。
一、樣品前期準備
根據樣品材質、尺寸、密度選取合適觀測工位,清理樣品表面粉塵、雜物,避免遮擋射線光路。
區分低密度材料(塑膠、樹脂)與高密度材料(金屬、陶瓷),提前預估穿透難度,規劃掃描區域。
尺寸過大、外形不規則樣品進行簡易固定,保證掃描過程無偏移、無震動,防止圖像重影模糊。
二、樣品裝夾定位方法
將待測樣品平穩放置于樣品載物臺中心,使用夾具輕固,保證樣品處于射線源與探測器中間區域。
調整載物臺位置、俯仰角度,確定核心觀測區域,鎖定掃描中心點,避免掃描范圍偏離待測部位。
裝夾力度適中,不擠壓變形軟性樣品,同時保證樣品在 360° 旋轉掃描時無碰撞、無偏移。
三、掃描參數設定
根據樣品材質選擇電壓、電流參數:低密度樣品選用低電壓,金屬等高密樣品適當提高電壓保證穿透效果。
合理設置掃描分辨率,精細微小結構選用高分辨率模式,大尺寸整體觀測選用常規分辨率以提升效率。
設定掃描角度范圍,常規采用 360° 全景掃描,局部重點觀測可自定義小角度區間掃描。
四、射線掃描與三維重建
設備發射微焦點 X 射線穿透樣品,采集多角度投影圖像,系統自動完成算法重建,生成三維立體模型,全程無需人工干預,樣品保持完整無損。
五、后期圖像觀測分析方法
斷層切片觀測:可沿 X、Y、Z 軸任意逐層切片,查看樣品內部截面結構。
三維旋轉觀測:模型多方位旋轉,觀察整體外形與內部腔體結構。
尺寸測量分析:直接對內部孔徑、壁厚、間距、缺陷大小進行精準測量。
缺陷識別觀測:清晰分辨氣孔、疏松、微裂紋、異物夾雜、分層脫粘等內部問題。
圖像導出保存:截圖、斷層數據、三維模型均可存檔,用于報告留存與工藝對比。
六、觀測注意要點
高密度金屬區域過多易產生射線偽影,需適當調整參數減少干擾。
細小結構觀測優先選用高分辨率掃描模式。
觀測完成后先關閉射線源,待設備復位再取出樣品。
貴重、成品樣品全程無損,檢測后可正常繼續使用。
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