國儀量子雙束電鏡DB550入選安徽省重大技術裝備名單

近日，安徽省工業和信息化廳發布2026年度安徽省重大技術裝備擬評定名單，國儀量子技術（合肥）股份有限公司自主研發的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB550成功入選并獲評定。

圖片來源：安徽省工信廳

雙束電鏡，納米分析與加工的關鍵支撐

在納米尺度的研究和分析中，研究人員往往不僅要看清樣品表面或內部的細微結構，還要在目標位置完成切割、減薄、沉積或樣品提取。將觀察與加工置于同一平臺，有助于縮短樣品轉移和重復定位的流程。

聚焦離子束電子束雙束顯微鏡將電子束觀察與離子束加工集成于同一平臺。電子束可用于樣品表面及截面的微觀形貌觀察；離子束則可用于定點切割、刻蝕、沉積、減薄等納米加工操作。二者協同，使研究人員能夠在同一設備上完成“觀察—定位—加工—再觀察"的連續工作流程。

在半導體失效分析、先進封裝、新能源材料、金屬材料及器件研發等場景中，FIB是連接宏觀問題與微觀證據的重要工具。以先進存儲器分析為例，隨著3D NAND堆疊層數不斷提升，對大尺寸截面加工和超薄樣品制備的均勻性提出了更高要求。國儀量子此前發布的應用驗證顯示，DB550完成了覆蓋200余層堆疊結構、橫向尺度超過10μm的大尺寸超薄截面制備，并通過多模式成像對加工結果進行了驗證。

DB550：納米分析工具

國儀量子聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB550面向納米分析加工及透射電鏡制樣等應用需求開發。產品采用低電壓高分辨電子鏡筒與超級減速方案，可在低電壓條件下保持亞納米級成像解析能力；新一代“承影2.0"離子鏡筒，則進一步優化了低壓分辨率與大束流加工表現。

產品核心優勢

1.高壓隧道技術和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品。

2.“承影"離子鏡筒，高穩定、高質量的離子束流，用于高質量納米加工和TEM制樣。

3.機械手采用集成控制方式，通過成像界面精準控制移動。

4.自主可控，擴展性強；離子源采用集成化設計，更換便捷；配備售后服務體系。

國儀量子聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB550

此次DB550入選安徽省重大技術裝備名單，是國儀量子堅持自主研發、持續改進產品能力的重要見證。未來，國儀量子將繼續面向半導體、材料、新能源等領域的實際需求，推動電子顯微鏡在更多科研與產業場景中落地應用，以可靠的儀器裝備與專業服務助力科學研究和產業創新。