目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>蒸發(fā)源>>蒸發(fā)源>> 偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源主要特點(diǎn) / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●電子偏轉(zhuǎn)270°，有效保證燈絲使用壽命， 且易于維護(hù)
●適用于金屬和電介質(zhì)的高純度蒸發(fā)
偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源應(yīng)用 / APPLICATIONS
● 表面科學(xué) ● 超薄膜層
● 多分子層 ● 摻雜
● 樣品制備 ● 密接金屬化
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
技術(shù)參數(shù) / TECHNICAL DATA
安裝法蘭 | DN63CF |
腔內(nèi)長度 | 200-400mm |
加速電壓 | 4-6kV |
電子束功率 | max3kW |
燈絲電流/功率 | max15A@100W |
燈絲參數(shù) | 鎢燈絲 |
水冷參數(shù) | 5L/min（最大功率） |
坩堝材質(zhì) | 鎢坩堝（特殊需求可定制） |
坩堝尺寸 | 2cc |
磁鐵 | 釤鈷永磁體 |
掃描模式 | 無 |
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