目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>蒸發源>>蒸發源>> 中溫蒸發源
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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中溫蒸發源主要特點 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 優異的溫度和束流穩定性
● 獨立式的水冷結構，源與水冷可單獨拆卸
● 多樣的燈絲設計，可滿足不同升溫需求
● 坩堝容積可達155cc
中溫蒸發源應用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科學，薄膜生長，樣品制備以及II-VI半導體薄膜研究和太陽能領域
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選 100：DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF
④可選 35: 5cc,7cc,10cc; 63: 25cc,40cc,60cc ;100: 155cc ⑤M: 400~1400℃
⑦35和63可選 P: 氣動, M: 手動 ⑨可選 K: type K, C: type C
技術參數 / TECHNICAL DATA
安裝法蘭 | DN40CF (O.D.2.75'')， DN63CF (O.D. 4.5'' )，DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
腔內長度 | 180~500mm可選 |
腔內直徑 | 36.5mm, 61mm, 96mm |
工作溫度 | 450~1400℃ |
除氣溫度 | ≤1450℃ |
加熱方式 | 鉭絲加熱 |
溫度穩定性 | ±0.1℃ |
溫度測量 | K型熱偶或C型熱偶 |
烘烤溫度 | 200℃ |
源數量 | 1 |
坩堝材料 | 石英, 氧化鋁, 熱解氮化硼, 可定制其他材料 |
坩堝容積 | DN40CF：5cc,7cc, 10cc DN63CF：25cc,40cc,60cc DN100CF：155cc |
冷卻方式 | 一體式水冷或獨立式水冷壁 |
擋板 | DN40CF和DN63CF含內置擋板，可選氣動或手動 |
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