目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>蒸發(fā)源>>蒸發(fā)源>> 雙源蒸發(fā)源
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 綜合 |
|---|
雙源蒸發(fā)源主要特點 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性
●獨立的雙路控溫
●良好的熱隔絕性
●有效提高UHV系統(tǒng)的使用效率
雙源蒸發(fā)源應用 / APPLICATIONS
● 表面科學
● 超薄膜層
● 多源摻雜
● 樣品制備
● Ⅲ-V半導體薄膜研究和太陽能領域
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②63：DN63CF ④M：中溫(400-1400℃） ⑥M：手動；P：氣動 ⑧C：TypeC；K：TypeK
技術參數(shù) / TECHNICAL DATA
安裝法蘭 | DN63CF (O.D. 4.5") |
腔內(nèi)長度 | 標準長度270mm；260mm-400mm可選 |
腔內(nèi)直徑 | 63mm |
工作溫度 | 400-1400℃ |
加熱方式 | 鉭絲加熱 |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.1℃ |
溫度測量 | K型熱偶（400℃-1100℃）C型熱偶（450℃-1400℃） |
除氣溫度 | K型熱偶 1200℃ ； C型熱偶 1450℃ |
烘烤溫度 | 200℃ |
源數(shù)量 | 2 |
坩堝材料 | 氧化鋁；熱解氮化硼；石英；可定制其他材料 |
坩堝容積 | 5cc |
冷卻方式 | 一體式水冷 |
1
化工儀器網(wǎng)