目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>蒸發源>>蒸發源>> 裂解源
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
裂解源主要特點 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 優異的溫度和束流穩定性
● 獨立式的水冷結構，源與水冷可單獨拆卸
● 適用于腐蝕材料的蒸發
● 低溫區和裂解區之間具有良好的隔熱性
● 坩堝容積可達1000cc
裂解源應用 / APPLICATIONS
● MBE，表面科學，薄膜生長，樣品制備以及II-VI半導體薄膜研究和太陽能領域
● 適用于蒸發：硫、硒、砷等材料
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
② 100：DN100CF ⑤可選 P：氣動，M：手動
技術參數 / TECHNICAL DATA
| 安裝法蘭 | DN100CF (O.D. 6.0'' ) |
| 腔內長度 | 200~500mm可選 |
| 腔內直徑 | 94mm |
| 工作溫度 | 高溫區：300~800℃ |
| 低溫區：100~400℃ | |
| 加熱方式 | 低溫坩堝區、裂解區：鉭絲加熱 |
| 溫度穩定性 | ±0.1℃ |
| 溫度測量 | K型熱偶 |
| 烘烤溫度 | 200℃ |
| 源數量 | 1 |
| 坩堝材料 | 石英，熱解氮化硼，氧化鋁，可定制其他材料 |
| 坩堝容積 | 低溫區容積：1000cc |
| 冷卻方式 | 低溫坩堝區和裂解區獨立式水冷壁，與源爐分開拆卸 |
1
化工儀器網