目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>電子控制與精密測量>> 膜厚控制儀/監測儀
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
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石英膜厚監測儀，膜厚控制儀/監測儀主要特點 / MAIN FEATURE
●7寸彩色觸控屏
●可最多6路同時監測/控制
●曲線顯示膜厚，生長速率及質量（MASS）
●高穩定基準，高精度
●測試數據一鍵保存
●遠程控制和診斷，支持固件升級
●多層膜工藝流程控制，支持共沉積
膜厚控制儀/監測儀應用 / APPLICATIONS
● 薄膜生長系統中對膜進行實時監測和生長過程的控制
型號注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可選：101; 200；300 ③路數可選：C2:雙路 C4：四路 C6：六路
技術參數 / TECHNICAL DATA
| 參數項 | QCM101 | QCM200 | QCM300 |
| 路數 | 雙路，四路，六路（可選） | ||
| 參考頻率穩定度 | ±1ppm | ±1ppm | ±1ppm |
| 頻率分辨率 | 0.02Hz | 0.02Hz | 0.02Hz |
| 膜厚分辨率 | 0.1Å | 0.1Å | 0.1Å |
| 速率分辨率 | 0.01Å/秒 | 0.01Å/秒 | 0.01Å/秒 |
| 速率控制 | / | / | 支持 |
| 功能特點 | 單層鍍膜 | 多層鍍膜 共沉積 | 多層鍍膜 共沉積 膜厚控制 |
| 傳感器數量 | 2-6 | 2-6 | 2-6 |
| 繼電器輸出 | 16 | 16 | 16 |
| 數字輸出 | 無 | 16 | 16 |
| 擋板控制 | 16 | 16 | 16 |
| 模擬輸出 | 無 | 無 | 2-6 |
| 輸入電壓 | 90~240VAC 50Hz/60Hz | ||
| 尺寸 | 300 x 133 x 275mm（3U，19英寸機柜） | ||
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