Chambergard™FV50D XL氣體擴散器

幻燈片詳細信息。

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快速減少裝載鎖和轉移室中的顆粒和通風時間，并采用高效耐用的鎳盤膜。

額定循環次數為1000000次，設計用于在更高的入口壓力下運行

緊湊型擴散器單元中的 結鎳技術可在所有應用中提供的性能

從進氣中去除大于0.0015µm的顆粒， 限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現有工具中， 限度地減少停機時間

美國ENTEGRIS英特格LETLNH010T1連接器

Chambergard™快速通風擴散器

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Chambergard™快速通風擴散器

Chambergard™快速通風擴散器可減少裝載鎖和轉移室中的顆粒物和通風時間。實現快速排氣，而不會干擾或向晶圓中添加顆粒。

工業

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過程

塊狀氣體輸送沉積干法蝕刻離子注入

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Chambergard™BGN快速排氣擴散器

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Chambergard™BGN快速排氣擴散器

Chambergard™BGN快速排氣擴散器可實現高吞吐量和快速排氣到大氣中。獲得 的燒結鎳濾芯可快速擴散進入的氣流。

入口連接

墊片密封對接焊縫

出口連接

ISO NW艙壁安裝兼容真空法蘭無（無法蘭）

工業

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過程

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