Chambergard™FV50D XL氣體擴(kuò)散器

幻燈片詳細(xì)信息。

下載圖片美國ENTEGRIS FV50 Gas Diffusers連接器

快速減少裝載鎖和轉(zhuǎn)移室中的顆粒和通風(fēng)時間，并采用高效耐用的鎳盤膜。

額定循環(huán)次數(shù)為1000000次，設(shè)計用于在更高的入口壓力下運(yùn)行

緊湊型擴(kuò)散器單元中的 結(jié)鎳技術(shù)可在所有應(yīng)用中提供的性能

從進(jìn)氣中去除大于0.0015µm的顆粒， 限度地減少晶圓缺陷美國ENTEGRIS FV50 Gas Diffusers連接器

易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中， 限度地減少停機(jī)時間

美國ENTEGRIS英特格LETLNH010T1連接器

Chambergard™快速通風(fēng)擴(kuò)散器

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Chambergard™快速通風(fēng)擴(kuò)散器

Chambergard™快速通風(fēng)擴(kuò)散器可減少裝載鎖和轉(zhuǎn)移室中的顆粒物和通風(fēng)時間。實(shí)現(xiàn)快速排氣，而不會干擾或向晶圓中添加顆粒。

工業(yè)

半導(dǎo)體平板顯示器數(shù)據(jù)存儲LED

過程

塊狀氣體輸送沉積干法蝕刻離子注入

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Chambergard™BGN快速排氣擴(kuò)散器

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Chambergard™BGN快速排氣擴(kuò)散器

Chambergard™BGN快速排氣擴(kuò)散器可實(shí)現(xiàn)高吞吐量和快速排氣到大氣中。獲得 的燒結(jié)鎳濾芯可快速擴(kuò)散進(jìn)入的氣流。

入口連接

墊片密封對接焊縫

出口連接

ISO NW艙壁安裝兼容真空法蘭無（無法蘭）

工業(yè)

半導(dǎo)體平板顯示器數(shù)據(jù)存儲LED

過程

塊狀氣體輸送沉積干法蝕刻離子注入

美國ENTEGRIS英特格LETLNH010T1連接器