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日本Maruyama EXK-2112 Chiller維修服務
日本丸山Maruyama EXK-2112 Chiller維修
丸山Maruyama YR-8030SC Chiller維修
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
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類型：1/4 DIN 標準尺寸（96mm × 96mm），模擬指針式
控制方式：ON/OFF（開關控制）
傳感器輸入：K 型熱電偶（CA）
輸出信號：繼電器接點 或 DC 12V/40mA（SSR 固態繼電器驅動）
Maruyama EXK-2112 Chiller維修服務
主要功能：
溫度設定與實時監測
加熱器控制（防止低溫結冰）
上限溫度報警（超溫保護）
傳感器斷線報警（安全保護）
外觀：黑色面板，紅 / 白色指針顯示
丸山（Maruyama）是日本的精密溫控設備廠商，其冷水機主要用于半導體、LCD 制造等高精度冷卻。
主要特性：
應用：半導體蝕刻、沉積、晶圓制程設備的閉環溫控
冷卻介質：去離子水、惰性液（3M Fluorinert）、乙二醇水溶液
溫控范圍：標準 -20℃ ~ 80℃，定制可達 -50℃ ~ 200℃
控制精度：±0.1℃ ~ ±0.5℃（PID 閉環）
安全保護：液溫高低、液位、壓力、過載、流量異常報警
通訊：支持遠程監控、SEMI 標準通訊
低溫加熱控制：水溫過低時啟動加熱器，防止結冰
超溫報警停機：冷卻失效、溫度過高時觸發整機保護
狀態顯示：實時指針顯示冷卻液溫度
故障診斷：傳感器斷線時報警并切斷輸出
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