SEMI Chiller溫控器半導體Chiller主要用于半導體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設備的溫度精準控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統組成的工藝過程中的溫控設備。
SEMI Chiller溫控器半導體Chiller
特點
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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
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SEMI Chiller溫控器半導體Chiller主要用于半導體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設備的溫度精準控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統組成的工藝過程中的溫控設備。
SEMI Chiller溫控器半導體Chiller
特點
優良的控制技術，模糊控制，前饋控制，確保設備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性
優良的節能技術，Hot-Gas，變頻技術等大幅降低了設備能耗
優良的密封和檢漏技術，極大的減少了循環液的泄露和揮發情況
超低溫制冷技術，單/多級復疊技術，多層復合保溫技術
支持用戶多通道/多類型定制需求
技術規格
| ZC209-4D Chiller | Specification | |||||
| Temperature range | -20 to +90℃ | |||||
| Temperature accuracy | ±0.1℃（Constant state） | |||||
| Cooling capacity | -10℃@4Kw | |||||
| Coolant Type | Fluorinert/Galden/Dl-EG | |||||
| Heater capacity | 3Kw | |||||
| Flow | 25LPM@0.5Mpa | |||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Coolant Port | 3/4" Rc or LOK | |||||
| Facility water Port | 1/2" Rc or LOK | |||||
| Power supply | 3-phase 208V±10% | |||||
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