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當(dāng)前位置：成都中冷低溫科技有限公司>>溫控單元>>chiller>> SEMI Chiller溫控器半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地成都市
更新時(shí)間：2026-04-27 13:27:14瀏覽次數(shù)：79次
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
SEMI Chiller溫控器半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)主要用于半導(dǎo)體（FAB）和FPD顯示制程中工藝設(shè)備的溫度精準(zhǔn)控制，如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設(shè)備的控溫（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲(chǔ)液罐、制冷壓縮機(jī)及控制系統(tǒng)組成的工藝過程中的溫控設(shè)備。
SEMI Chiller溫控器半導(dǎo)體工藝冰水機(jī)
特點(diǎn)
優(yōu)良的控制技術(shù)，模糊控制，前饋控制，確保設(shè)備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性
優(yōu)良的節(jié)能技術(shù)，Hot-Gas，變頻技術(shù)等大幅降低了設(shè)備能耗
優(yōu)良的密封和檢漏技術(shù)，極大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況
超低溫制冷技術(shù)，單/多級(jí)復(fù)疊技術(shù)，多層復(fù)合保溫技術(shù)
支持用戶多通道/多類型定制需求
技術(shù)規(guī)格
| ZC209-4D Chiller | Specification | |||||
| Temperature range | -20 to +90℃ | |||||
| Temperature accuracy | ±0.1℃（Constant state） | |||||
| Cooling capacity | -10℃@4Kw | |||||
| Coolant Type | Fluorinert/Galden/Dl-EG | |||||
| Heater capacity | 3Kw | |||||
| Flow | 25LPM@0.5Mpa | |||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Coolant Port | 3/4" Rc or LOK | |||||
| Facility water Port | 1/2" Rc or LOK | |||||
| Power supply | 3-phase 208V±10% | |||||
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