觸控面板和各類顯示器是現代電子設備的交互界面,其表面質量直接影響用戶的視覺與觸覺體驗。從蓋板玻璃的平坦度、抗反射微結構的均勻性,到透明導電膜的厚度、蝕刻線路的輪廓,都對制造工藝提出了精細的要求。白光干涉儀作為一種非接觸式三維表面形貌測量工具,在觸控與顯示行業的質量控制環節有較多應用。Sensofar S neox系統為此類大面積、多結構樣品的測量提供了方案。
對于蓋板玻璃,其表面和邊緣的加工質量是關鍵。白光干涉儀可以測量玻璃表面的平坦度、波紋度以及納米級的粗糙度,這些參數影響光學清晰度和抗眩光性能。對于2.5D或3D曲面玻璃,白光干涉儀可以測量其弧面區域的形貌,確保曲率符合設計。玻璃邊緣的拋光質量和倒角形狀也可以通過白光干涉儀進行檢測,以防止應力集中和提升手感。
在抗反射、抗指紋等功能性涂層的檢測中,涂層表面的微觀結構決定了其性能。白光干涉儀可以量化涂層表面的粗糙度,并觀察涂層是否均勻,是否有橘皮、縮孔等缺陷。通過測量涂層臺階的高度,還可以監控涂層的厚度均勻性。
對于觸控面板的核心部件——透明導電膜圖案,白光干涉儀發揮著重要作用。在蝕刻形成ITO線路后,需要測量線路的寬度、高度(厚度)、側壁角度以及線邊緣的粗糙度。這些尺寸參數直接影響線路的導電性和透光性。白光干涉儀可以快速對線路進行三維成像,獲取其截面輪廓,精確測量關鍵尺寸。同時,它還能檢查蝕刻過程中是否產生了過蝕刻或殘留,以及線路表面是否有缺陷。
在顯示面板領域,白光干涉儀可用于測量彩色濾光片的間隔物高度、TFT陣列的臺階覆蓋性、以及微透鏡陣列的形貌等。對于OLED顯示中使用的薄膜封裝層,其表面平整度對水氧阻隔性能有影響,也可用白光干涉儀進行監控。
S neox系統通常配備大行程電動樣品臺和高分辨率導航相機,便于對手機屏、平板屏乃至筆記本屏幕尺寸的面板進行快速定位和多區域自動測量。其非接觸特性避免了對脆弱導電線路和涂層的損傷。測量軟件可以自動識別和測量多個重復圖案的特征尺寸,并生成包含CPK等統計過程控制參數的報告,滿足大規模生產的質量控制需求。
隨著柔性顯示、折疊屏等新技術的出現,對曲面、可彎曲表面的形貌測量提出了新挑戰。白光干涉儀的技術靈活性使其有望適應這些新的測量需求。Sensofar S neox白光干涉儀在觸控與顯示行業的應用,有助于制造商從微觀尺度控制產品外觀與功能質量,提升產品良率和可靠性。