許多現代工業產品與科研樣品具有脆弱、柔軟、易損傷的特性,傳統的接觸式測量方法可能因物理接觸而改變甚至破壞其表面狀態,導致測量失真。視芯光學T100作為一種非接觸式光學測量儀器,在這一類樣品的表征中展現了其獨特的應用優勢。
在MEMS(微機電系統)器件領域,微小的懸臂梁、薄膜結構非常脆弱,機械探針的接觸可能引起結構變形、粘連甚至斷裂。T100利用光進行測量,wan 全無需接觸,可以安全地獲取這些微結構的靜態三維形貌,測量其厚度、彎曲、應力梯度釋放后的形變等,為器件的設計與可靠性評估提供數據。在生物醫學領域,許多樣品如生物組織切片、水凝膠支架、高分子藥物涂層等都質地柔軟。接觸測量可能劃傷表面或引入壓痕。T100的非接觸方式可以無損地測量這些樣品的表面拓撲結構、孔隙率和粗糙度,對于研究材料與細胞的相互作用、藥物釋放行為等具有重要意義。
在光學和光電子行業,精密的光學元件(如非球面透鏡、衍射光學元件、激光晶體)表面經過精細拋光,任何微小的劃痕都會影響其性能。使用接觸式儀器存在劃傷風險。T100能夠安全地評估這些高價值光學表面的面形精度、粗糙度以及亞表面缺陷。在半導體行業,對潔凈的硅片、光刻膠圖形、低k介質層等進行表面檢查時,也必須避免引入污染或損傷,非接觸的光學測量是優選方案。
除了避免物理損傷,非接觸測量對樣品沒有施加測量力,因此能真實反映樣品在自由狀態下的表面形貌,尤其適用于測量極薄、易彎曲的樣品,如超薄金屬片、高分子薄膜等。此外,T100的快速掃描特性也便于對同一區域進行重復測量,研究表面在外界環境(如溫度、濕度、載荷)變化下的動態演變過程,而不會因接觸干擾這一過程。
視芯光學T100的非接觸測量特性,拓寬了表面計量技術的應用邊界,使得對各類敏感、珍貴或柔軟的樣品進行定量化表面分析成為可能,滿足了xian 進制造和前沿科研中的多樣化需求。