共聚焦顯微鏡技術通過空間濾波,有效抑制了非焦平面的雜散光,從而獲得了比傳統光學顯微鏡更高的橫向分辨率和光學層析能力。將這一技術應用于工業檢測與材料分析,便催生了共聚焦顯微鏡。視芯光學T100,即是一款集成了共聚焦測量模式的多功能國產光學測量儀。
作為一款多功能國產共聚焦顯微鏡,T100的核心在于其共聚焦光路設計。它利用點光源照明和針孔探測,逐點掃描樣品表面,僅接收焦平面處的反射光信號。這種機制使其能獲得樣品表面清晰的二維光學切片圖像,并通過Z軸掃描一系列切片,最終合成高分辨率的三維表面形貌。該技術對測量高反射率表面、透明薄膜下的底層結構,或具有復雜幾何形狀的樣品,表現出較好的適應性。
“多功能"是T100的顯著特點之一。除了核心的共聚焦測量模式,它通常還兼容白光干涉測量模式。用戶可以根據被測樣品的表面特性(如反射率、粗糙度、坡度等),靈活選擇最合適的測量模式。例如,對于光滑或連續臺階表面,白光干涉模式可能測量速度更快;對于高反射、陡峭側壁或需要光學斷層成像的樣品,共聚焦模式則更具優勢。這種多模式融合的設計,擴展了單臺儀器的應用邊界。
T100的硬件系統為這些功能提供了支撐。穩定的光源、高精度的掃描平臺、靈敏的探測器和消色差物鏡等組件,共同保證了圖像質量和測量數據的可靠性。其軟件系統則統一管理不同模式下的測量控制與數據分析,提供一致的用戶體驗。軟件通常包含豐富的圖像處理與計量分析工具,如三維渲染、輪廓提取、自動顆粒分析、膜厚測量等,滿足多樣化的分析需求。
在質量控制、失效分析和研發領域,多功能共聚焦顯微鏡應用廣泛。它可以用于檢測精密零件的加工缺陷、測量微電子焊點的形狀與體積、評估功能性涂層或拋光工藝后的表面質量、觀察生物相容性材料的表面微結構等。其非接觸、高分辨率的特性,使其成為微納尺度形貌與尺寸測量的重要工具。
視芯光學T100作為國產多功能共聚焦顯微鏡,展示了國內儀器制造商在集成先進光學技術、提供靈活解決方案方面的能力。它為用戶,特別是那些需要應對多種類型樣品測量挑戰的用戶,提供了一個將兩種主流光學輪廓測量技術融于一體的經濟型選擇。通過持續的技術優化與應用拓展,這類儀器正助力于提升國內相關行業的檢測與分析水平。