在先進半導體制造環(huán)節(jié)，晶圓表面質量直接關系芯片良率與性能，尤其是12英寸晶圓經(jīng)過CMP化學機械拋光后，表面微觀缺陷與粗糙度的管控成為關鍵環(huán)節(jié)，直接影響后續(xù)光刻、蝕刻等工序的效果。
晶圓廠長期受傳統(tǒng)檢測方式局限，面臨檢測效率低、易損傷晶圓、數(shù)據(jù)不全面等痛點。視芯光學T100高精度3D光學輪廓儀，可用于拋光后晶圓的全域表面檢測。傳統(tǒng)接觸式測量方式容易劃傷晶圓表面，且僅能獲取單一線輪廓數(shù)據(jù)，無法全面反映整片晶圓的微觀起伏狀態(tài)，難以滿足納米級檢測需求，無法為工藝優(yōu)化提供全面數(shù)據(jù)支撐。
視芯光學T100依托非接觸式測量原理，搭配白光干涉與共聚焦雙模式，可對整片晶圓進行快速全域掃描，高效生成納米級分辨率的3D形貌圖，清晰呈現(xiàn)表面微劃痕、拋光殘留、顆粒污染等各類缺陷，同時準確計算Sa、Sz、Sdr等全維度粗糙度參數(shù)，為質量評估提供多維度依據(jù)。
在實際測試過程中，T100單點位測量耗時僅數(shù)秒，支持自動拼接大尺寸晶圓圖像，完整呈現(xiàn)全域表面狀態(tài)，大幅提升檢測效率，滿足量產(chǎn)環(huán)節(jié)的高效檢測需求。工藝團隊通過分析T100反饋的實時數(shù)據(jù)，及時調(diào)整拋光壓力、研磨液配比與拋光盤轉速，將晶圓表面粗糙度波動控制在合理范圍，有效提升后續(xù)光刻工藝對位精度，為芯片良率提供可靠保障，助力企業(yè)降低生產(chǎn)成本、提升產(chǎn)品競爭力。
輪廓儀觀察下電鍍Ni的粗化表面
“視芯光學"是上海視芯集智科技有限公司傾力打造的專業(yè)光學測量技術品牌。公司總部位于中國上海，是一家專注于光學測量技術領域的高科技企業(yè)，公司憑借在光學測量技術領域的深厚積累，致力于為客戶提供專業(yè)的技術咨詢服務及高精度非接觸式計量解決方案。公司始終遵循先進的技術質量和客戶至上的服務宗旨，在行業(yè)內(nèi)逐步樹立起專業(yè)、可靠的技術形象，為制造業(yè)與科研機構提供高精度非接觸式3D光學輪廓儀計量解決方案。
“視芯光學"依托公司在干涉技術、共聚焦技術和多焦面疊加技術領域的深厚積累，成功研發(fā)出高精度光學輪廓儀系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對微觀表面形貌、三維輪廓、粗糙度等關鍵參數(shù)的準確測量。無論是用于研發(fā)實驗室與質量檢測中心的標準系統(tǒng)，還是集成于在線生產(chǎn)過程的全自動非接觸式計量方案，視芯光學都能提供覆蓋從實驗室到生產(chǎn)線的完整測量鏈條，助力客戶提升工藝控制水平與產(chǎn)品良率。
品牌名稱“視芯"寓意“以光學之眼，探精密之芯"——通過先進的光學測量手段，洞悉微觀世界的每一處細節(jié)。視芯光學不僅提供高性能的測量設備，還依托自身豐富的技術經(jīng)驗，為客戶提供測量技術領域的專業(yè)咨詢服務，幫助用戶優(yōu)化測量流程、解決復雜的檢測難題。
“視芯光學"不斷拓展在高級制造、半導體、精密機械、新材料等領域的應用場景，致力于成為中國光學測量領域值得信賴的品牌。
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