MEMS傳感器與執行器的微結構尺寸、形貌與表面質量，直接決定器件的靈敏度、穩定性與使用壽命，其檢測難度因結構微小、形態復雜、易損傷等特點大幅提升，傳統檢測手段難以滿足精確檢測需求。
在MEMS器件研發及壓力傳感器生產過程中，核心敏感膜片與微懸臂梁結構的尺寸精度、表面粗糙度要求很高，傳統檢測設備無法準確捕捉微結構細節，且易對器件造成損傷。可使用視芯光學T100多功能共聚焦顯微鏡，作為微結構檢測的核心設備。
視芯光學T100新型共聚焦白光干涉儀，憑借共聚焦光學成像的獨特優勢，可有效濾除雜散光干擾，實現MEMS器件深層微結構的清晰成像，準確測量敏感膜片厚度、懸臂梁尺寸、溝槽深度與寬度等關鍵參數，測量精度可滿足微米級甚至納米級需求。
同時，設備以非接觸式方式檢測微結構表面粗糙度，準確識別加工殘留、微裂紋、變形等各類缺陷，避免檢測過程對器件造成損傷，保障檢測結果的準確性。
在器件研發階段，視芯光學T100助力工程師分析不同蝕刻工藝、沉積參數對微結構形貌的影響，通過對比不同工藝下的檢測數據，優化工藝方案，縮短研發周期；
在量產環節，視芯光學T100可實現自動化批量檢測，快速篩選出結構尺寸超差、表面缺陷超標的器件，保障每臺MEMS傳感器的性能一致性，為消費電子、汽車電子等下游領域提供穩定可靠的核心器件。
輪廓儀觀察下多種器件粗糙度結構圖
“視芯光學"是上海視芯集智科技有限公司傾力打造的專業光學測量技術品牌。公司總部位于中國上海，是一家專注于光學測量技術領域的高科技企業，公司憑借在光學測量技術領域的深厚積累，致力于為客戶提供專業的技術咨詢服務及高精度非接觸式計量解決方案。公司始終遵循先進的技術質量和客戶至上的服務宗旨，在行業內逐步樹立起專業、可靠的技術形象，為制造業與科研機構提供高精度非接觸式3D光學輪廓儀計量解決方案。
“視芯光學"依托公司在干涉技術、共聚焦技術和多焦面疊加技術領域的深厚積累，成功研發出高精度光學輪廓儀系列產品，可實現對微觀表面形貌、三維輪廓、粗糙度等關鍵參數的準確測量。無論是用于研發實驗室與質量檢測中心的標準系統，還是集成于在線生產過程的全自動非接觸式計量方案，視芯光學都能提供覆蓋從實驗室到生產線的完整測量鏈條，助力客戶提升工藝控制水平與產品良率。
品牌名稱“視芯"寓意“以光學之眼，探精密之芯"——通過先進的光學測量手段，洞悉微觀世界的每一處細節。視芯光學不僅提供高性能的測量設備，還依托自身豐富的技術經驗，為客戶提供測量技術領域的專業咨詢服務，幫助用戶優化測量流程、解決復雜的檢測難題。
“視芯光學"不斷拓展在高級制造、半導體、精密機械、新材料等領域的應用場景，致力于成為中國光學測量領域值得信賴的品牌。
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