Sensofar 新型 3D 共聚焦白光干涉光學輪廓儀 S neox 具備白光干涉儀、共聚焦顯微鏡、白光干涉表面形貌儀等功能，在光學元件（如石英玻璃、光學鏡片、棱鏡）檢測中，可實現表面劃痕、麻點、粗糙度及面形精度的高精度檢測，保障光學元件透光率與成像質量。
光學元件的表面微觀缺陷（劃痕、麻點、微小裂紋）與粗糙度，直接影響光線傳播路徑，導致透光率下降、成像畸變等問題。光學元件對表面質量要求嚴苛，缺陷尺寸達微米級甚至納米級，傳統檢測手段（如光學顯微鏡）僅能觀測二維外觀，難以量化缺陷深度與粗糙度，檢測精度不足。
光學元件制造企業引入 S neox 3D 光學輪廓儀，搭建高精度表面質量檢測平臺。 檢測實施時，采用 S neox 的白光干涉模式，搭配 150 倍物鏡，對光學元件表面進行掃描。設備依托三維共聚焦白光干涉光學輪廓儀技術，縱向分辨率達亞納米級，可測量納米級粗糙度與微小缺陷深度，橫向分辨率高，清晰識別微米級劃痕與麻點。非接觸式輪廓儀設計，避免檢測過程中劃傷脆弱的光學表面，適配石英玻璃、鍍膜鏡片等多種材質檢測。 數據分析環節，通過軟件自動提取表面粗糙度（Ra、Rq）、缺陷深度、長度、面積等參數，生成三維形貌云圖與缺陷分布報告。同時，分析光學元件的面形精度，評估表面平整度，篩選符合透光率要求的產品。相較于傳統檢測，S neox 可實現缺陷的可視化與量化，檢測效率提升，減少人工誤判，適配光學元件的量產質檢需求。
實際應用中，通過 S neox 檢測，精準剔除表面缺陷超差的產品，光學元件出廠合格率提升，客戶反饋成像質量與透光率穩定性良好。
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