MEMS傳感器與執(zhí)行器的微結構尺寸、形貌及表面質(zhì)量，直接決定了器件的靈敏度、穩(wěn)定性與服役壽命。鑒于其結構微小、形態(tài)復雜且極易受損的特性，檢測難度大幅提升，傳統(tǒng)檢測手段往往難以滿足高精度、無損的檢測需求。在MEMS器件研發(fā)及壓力傳感器生產(chǎn)中，針對核心敏感膜片與微懸臂梁結構的嚴苛精度要求，引入視芯光學T100國產(chǎn)共聚焦白光干涉儀作為微結構檢測的核心裝備，已成為突破瓶頸的關鍵舉措。
視芯光學T100國產(chǎn)共聚焦白光干涉儀憑借共聚焦光學成像的獨特優(yōu)勢，能夠有效濾除背景雜散光干擾，實現(xiàn)MEMS器件深層微結構的清晰成像。該設備可精準測量敏感膜片厚度、懸臂梁尺寸、溝槽深度與寬度等關鍵參數(shù)，測量精度輕松覆蓋微米級至納米級需求。同時，其非接觸式測量方式不僅能準確識別加工殘留、微裂紋及變形等各類微觀缺陷，還能避免檢測過程對器件造成二次損傷，從源頭保障了檢測結果的準確性與完整性。
在器件研發(fā)階段，該設備助力工程師深入分析不同蝕刻工藝、沉積參數(shù)對微結構形貌的影響，通過比對多組工藝數(shù)據(jù)優(yōu)化方案，顯著縮短研發(fā)周期；在量產(chǎn)環(huán)節(jié)，視芯光學T100國產(chǎn)共聚焦白光干涉儀支持自動化批量檢測，能夠快速篩選出結構尺寸超差或表面缺陷超標的器件，確保每一臺MEMS傳感器均具備優(yōu)異的性能一致性，從而為消費電子、汽車電子等下游應用領域提供穩(wěn)定可靠的核心部件支撐。
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