
在先進封裝中,重布線層(RDL)承擔芯片焊盤重新布局與電氣互連功能,其跡線寬度、厚度及表面質量關系信號完整性與器件性能。面對FOPLP等工藝對RDL形貌的高要求,傳統檢測在分辨率和效率上常有一定局限。
視芯光學S1000國產非接觸式3D輪廓儀擅長測量精細RDL特征,搭配鏡頭可獲取三維輪廓,較為清晰地呈現跡線斷面與表面起伏,為尺寸與質量評估提供可視化參考。視芯光學S1000國產非接觸式3D輪廓儀設備融合共聚焦、干涉、Ai多焦面疊加及膜厚測量四合一技術,一鍵切換適配不同形貌任務,兼顧分辨率與采集效率;采用新型算法與相機,數據采集速度迅速,標準測量采集速度較以往有較明顯提升。
視芯光學S1000國產非接觸式3D輪廓儀配合插件,可自動化分析參數,按預設公差輸出通過/失敗報告,適配產線批量質控節奏。設備出廠前均使用符合標準的可追溯標準塊校正,并附帶精度與重復性檢測報告,為數據可靠性提供支撐,在RDL高精度測量與扇出型封裝質量管控中可提供較為穩定的3D形貌參考。