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在MEMS制造中，深反應離子蝕刻（DRIE）、薄膜沉積等工藝對微結構精度要求較高，臺階高度、薄膜厚度、表面粗糙度及結構變形的計量表征，關乎器件性能與異構集成可靠性，傳統手段在復雜三維形貌獲取上常面臨一定局限。

視芯光學S1000國產3D光學輪廓儀依托干涉與共聚焦技術，搭配鏡頭可獲取MEMS三維輪廓圖，對復雜表面形貌、關鍵區域臺階高度、線條寬度及表面粗糙度等進行非接觸式測量，為微結構幾何精度與表面質量評估提供數據參考。

視芯光學S1000國產3D光學輪廓儀融合共聚焦、干涉、Ai多焦面疊加及膜厚測量四合一技術，一鍵切換適配不同形貌任務；采用新型算法與相機，數據采集速度可達迅速，標準測量采集速度較以往有較明顯提升。配合軟件，支持自動識別特征、批量分析等標準參數計算，可輸出通過/失敗報告，適配研發與產線質控節奏。

視芯光學S1000國產3D光學輪廓儀設備出廠前均使用符合標準的可追溯標準塊校正，并附帶精度與重復性檢測報告，為數據穩定性提供支撐，在MEMS三維形貌與缺陷檢測場景中可提供較為全面的測量參考。