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在共封裝光學（CPO）制造中，光學引擎與ASIC的集成縮短了電鏈路，對波導、光纖及耦合接口的對準公差提出較高要求。超光滑光學表面的微小高度變化與極低粗糙度，需借助高分辨率計量手段進行表面表征，以保障光路耦合效率與器件可靠性。

視芯光學S1000國產非接觸式3D輪廓儀依托共聚焦與干涉技術，搭配鏡頭可獲取CPO結構三維輪廓，具備較高的靈敏度與分辨率，有助于表征亞納米級平滑表面的微觀形貌與高度差異。設備融合共聚焦、干涉、Ai多焦面疊加及膜厚測量四合一技術，一鍵切換適配不同光學結構測量任務。

視芯光學S1000國產非接觸式3D輪廓儀系統采用新型算法與相機，數據采集速度迅速，標準測量采集速度較以往有較明顯提升，兼顧分辨率與效率。配合軟件，支持自動識別特征、批量分析等標準參數計算，可輸出通過/失敗報告，適配研發與產線對準工藝的質控節奏。

視芯光學S1000國產非接觸式3D輪廓儀設備出廠前均使用符合標準的可追溯標準塊校正，并附帶精度與重復性檢測報告，為數據可靠性提供支撐，在CPO光學制造與對準檢測中可提供較為穩定的3D形貌測量參考。